उन्नत अर्धचालक प्रशोधनको लागि CVD कोटिंग्स
महत्वपूर्ण अर्धचालक उत्पादन वातावरणको लागि ईन्जिनियर गरिएको, हाम्रो रासायनिक भाप निक्षेपण (CVD) सिलिकन कार्बाइड (SiC), ट्यान्टलम कार्बाइड (TaC), र पाइरोलाइटिक कार्बन (PyC) कोटिंग्सले उत्कृष्ट रासायनिक जडत्व, चरम थर्मल स्थिरता, र अति-उच्च शुद्धता (<5 ppm) प्रदान गर्दछ। उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट र सिरेमिक सब्सट्रेटहरूलाई आक्रामक प्लाज्मा, प्रतिक्रियाशील प्रक्रिया ग्यासहरू, र उच्च थर्मल साइकल चलाउनबाट जोगाउन डिजाइन गरिएको, हाम्रो उन्नत कोटिंग्सले कण उत्पादनलाई कम गर्छ र घटक आयु उल्लेखनीय रूपमा विस्तार गर्छ।सिलिकन/SiC एपिटाक्सी, MOCVD, प्लाज्मा एचिंग, र मोनोक्रिस्टल ग्रोथअनुप्रयोगहरू।
महत्वपूर्ण प्रक्रियाहरूमा वेफर प्रदूषण रोक्नको लागि GDMS-प्रमाणित कम धातु अशुद्धता।
बाक्लो क्रिस्टलीय संरचनाले हलोजन प्लाज्मा (CF₄, NF₃, Cl₂) र संक्षारक ग्याँसहरूबाट जोगाउँछ।
कडा CTE नियन्त्रणले गम्भीर थर्मल झट्कामा माइक्रो-क्र्याकिंग र कोटिंग डिलेमिनेशन हटाउँछ।
| कोटिंग प्रकार | प्रमुख प्राविधिक फाइदा | प्राथमिक प्रक्रिया आवेदन |
|---|---|---|
| CVD SiC कोटिंग | उच्च तापीय चालकता, उत्कृष्ट प्लाज्मा क्षरण प्रतिरोध | ड्राई एच, सि एपिटाक्सी, एमओसीभीडी, क्रिस्टल ग्रोथ |
| CVD TaC कोटिंग | अत्यधिक तापक्रम प्रतिरोध (>२०००°C), H₂/SiH₄ जंग अवरोध | SiC एपिटाक्सी, एकल-क्रिस्टल SiC PVT वृद्धि |
| PyC कोटिंग | हर्मेटिक ग्यास सिलिङ, अल्ट्रा-स्मूथ एनिसोट्रोपिक कार्बन सतह | थर्मल फिल्ड इन्सुलेशन, CZ मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन |
-
अति-पातलो ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग: पी सुधार गर्दछ...
-
ट्यान्टलम कार्बाइड ट्यूब
-
SiC लेपित ग्रेफाइट गियर रिंग
-
एल को लागि सिलिकन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर...
-
MOCVD एपिटेक्सियलको लागि RTP/RTA SiC कोटिंग क्यारियर...
-
अर्ध-पारदर्शी सिलिकन कार्बाइडको लागि एपिटेक्सियल पाना ट्रे...
-
गहिरो UV-LED को लागि SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर
-
सिलिकन कार्बोरेटर भएका ग्रेफाइट सब्सट्रेट/वाहकहरू...
-
... को लागि SiC कोटिंग/लेपित ग्रेफाइट सब्सट्रेट/ट्रे