மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்திற்கான CVD பூச்சுகள்

முக்கியமான குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட, எங்களின் இரசாயன ஆவிப் படிவு (CVD) சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC), டாண்டலம் கார்பைடு (TaC), மற்றும் வெப்பச் சிதைவு கார்பன் (PyC) பூச்சுகள், மிகச்சிறந்த இரசாயன மந்தத்தன்மை, தீவிர வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் மிக அதிகத் தூய்மையை (< 5 ppm) வழங்குகின்றன. அதிகத் தூய்மையான கிராஃபைட் மற்றும் செராமிக் அடிமூலக்கூறுகளைத் தீவிரமான பிளாஸ்மா, வினைபுரியும் செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் உயர் வெப்பச் சுழற்சியிலிருந்து பாதுகாக்க வடிவமைக்கப்பட்ட எங்களின் மேம்பட்ட பூச்சுகள், துகள் உருவாக்கத்தைக் குறைத்து, பாகங்களின் ஆயுட்காலத்தை கணிசமாக நீட்டிக்கின்றன.சிலிக்கான்/SiC எபிடாக்ஸி, MOCVD, பிளாஸ்மா எச்சிங் மற்றும் மோனோகிரிஸ்டல் வளர்ச்சிபயன்பாடுகள்.