क्वार्ट्ज वेफर डुङ्गाअर्धचालक निर्माण, फोटोभोल्टिक सेल उत्पादन र उन्नत सामग्री अनुसन्धान र विकासमा एक प्रमुख वाहक उपकरण हो, जुन उच्च-तापमान प्रक्रियाहरूमा स्थिर वेफर स्थानान्तरण र स्थितिको लागि डिजाइन गरिएको हो। यो उत्पादन अति-उच्च शुद्धता फ्यूज्ड सिलिका (SiO2) बाट बनेको छ, उत्कृष्ट तापक्रम प्रतिरोध, रासायनिक स्थिरता र अति-कम धातु प्रदूषण विशेषताहरू सहित, प्रसार भट्टी, अक्सिडेशन भट्टी, PECVD/LPCVD र अन्य उपकरणहरूको लागि उपयुक्त, वेफर कोटिंग, आयन इम्प्लान्टेसन, उच्च तापक्रम एनिलिङ र अन्य कोर प्रक्रियाहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।
VET इनर्जीको क्वार्ट्ज डुङ्गाका मुख्य फाइदाहरू:
- अति उच्च शुद्धता सामग्री
शुद्धता ≥९९.९९%: अशुद्धता सामग्री (Na, K, Fe, आदि) <५ppm, वेफर प्रदूषणबाट बच्ने र चिप उपजको ग्यारेन्टी गर्ने।
कम वर्षा र सोखना: कण आसंजन र ग्यास अवशेष कम गर्न सतहलाई सुपर-पालिस गरिएको छ (Ra≤0.4μm)। - उच्च तापक्रम स्थिरता
तापक्रम सीमा: ११०० डिग्री सेल्सियसको दीर्घकालीन कार्य तापमान, १३०० डिग्री सेल्सियसको छोटो अवधिको शिखर, कुनै विकृति छैन, कुनै क्रिस्टल वर्षा छैन।
कम थर्मल विस्तार गुणांक (५.५x१०-७/℃), उत्कृष्ट थर्मल झट्का प्रतिरोध, द्रुत तापक्रम वृद्धि र पतन प्रक्रियामा अनुकूलनीय (जस्तै RTP द्रुत एनिलिङ)। - सटीक संरचनात्मक डिजाइन
स्लट प्रेसिजन±०.१ मिमी: २” देखि १२” वेफरहरू मिलाउँदै, स्पेसिङ एकरूपता त्रुटि <०.०५ मिमी, वेफरहरूमा कुनै अफसेट नभएको सुनिश्चित गर्दै।
उच्च भार क्षमता: एउटै डुङ्गामा ५० वटा वेफरको अधिकतम भार (१२” वेफरको हिसाबले) जसले पातलो वेफरको स्थिर स्थानान्तरणलाई समर्थन गर्दछ (≥१००um)। - रासायनिक जडता
क्षरण प्रतिरोध: एसिड (HF बाहेक), क्षार र जैविक विलायक क्षरण प्रतिरोधी, CMP सफाई प्रक्रियासँग उपयुक्त।
उत्कृष्ट ग्यास टाइटनेस: चुहावट दर <5x10-10 Pa.m3/s, भ्याकुम र सुरक्षात्मक ग्यास वातावरणको लागि उपयुक्त। - लामो आयु र मर्मतसम्भार
आयु ≥ ५००० चक्रभन्दा माथि (सामान्य काम गर्ने अवस्था), सतहलाई बारम्बार सफा गर्न र प्रयोग गर्न सकिन्छ, जसले गर्दा समग्र लागत घट्छ।
मोड्युलर डिजाइन: आंशिक प्रतिस्थापनलाई समर्थन गर्दछ (जस्तै एकल डुङ्गाको दाँत), डाउनटाइम घटाउँछ।
हामी ग्राहकको आवश्यकता अनुसार पारदर्शी र फ्रोस्टेड दुवै सतहहरू प्रदान गर्दछौं:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd एक उच्च-प्रविधि उद्यम हो जसले उच्च-अन्त उन्नत सामग्रीहरूको उत्पादन र बिक्रीमा केन्द्रित छ, ग्रेफाइट, सिलिकन कार्बाइड, सिरेमिक, SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पाइरोलाइटिक कार्बन कोटिंग, आदि जस्ता सतह उपचार सहित सामग्री र प्रविधि। यी उत्पादनहरू फोटोभोल्टिक, अर्धचालक, नयाँ ऊर्जा, धातु विज्ञान, आदिमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।
हाम्रो प्राविधिक टोली शीर्ष घरेलु अनुसन्धान संस्थाहरूबाट आएको हो, र उत्पादन प्रदर्शन र गुणस्तर सुनिश्चित गर्न धेरै पेटेन्ट गरिएका प्रविधिहरू विकास गरेको छ, जसले ग्राहकहरूलाई व्यावसायिक सामग्री समाधानहरू पनि प्रदान गर्न सक्छ।
