Επίστρωση καρδιαγγειακών παθήσεων

Επιστρώσεις CVD για προηγμένη επεξεργασία ημιαγωγών

Κατασκευασμένες για κρίσιμα περιβάλλοντα κατασκευής ημιαγωγών, οι επιστρώσεις μας από καρβίδιο του πυριτίου (SiC), καρβίδιο του τανταλίου (TaC) και πυρολυτικό άνθρακα (PyC) με χημική εναπόθεση ατμών (CVD) προσφέρουν εξαιρετική χημική αδράνεια, εξαιρετική θερμική σταθερότητα και εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα (< 5 ppm). Σχεδιασμένες για την προστασία υποστρωμάτων γραφίτη και κεραμικών υψηλής καθαρότητας από επιθετικό πλάσμα, αντιδραστικά αέρια διεργασίας και υψηλό θερμικό κύκλο, οι προηγμένες επιστρώσεις μας ελαχιστοποιούν την παραγωγή σωματιδίων και παρατείνουν σημαντικά τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων.Επιταξία πυριτίου/SiC, MOCVD, χάραξη με πλάσμα και ανάπτυξη μονοκρυστάλλωνεφαρμογές.

Υπερυψηλής καθαρότητας (< 5 ppm)

Χαμηλές μεταλλικές ακαθαρσίες επαληθευμένες με GDMS για την πρόληψη της μόλυνσης των πλακιδίων σε κρίσιμες διεργασίες.

Ανώτερη αντοχή σε πλάσμα και αέριο

Η πυκνή κρυσταλλική δομή προστατεύει από το πλάσμα αλογόνου (CF₄, NF₃, Cl₂) και τα διαβρωτικά αέρια.

Βελτιστοποιημένη θερμική αντιστοίχιση

Ο αυστηρός έλεγχος CTE εξαλείφει τις μικρορωγμές και την αποκόλληση της επικάλυψης υπό σοβαρά θερμικά σοκ.

Τύπος επίστρωσης	Βασικό Τεχνικό Πλεονέκτημα	Εφαρμογή κύριας διεργασίας
Επίστρωση CVD SiC	Υψηλή θερμική αγωγιμότητα, εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση πλάσματος	Ξηρή χάραξη, επιταξία Si, MOCVD, ανάπτυξη κρυστάλλων
Επίστρωση CVD TaC	Αντοχή σε ακραίες θερμοκρασίες (>2000°C), φράγμα διάβρωσης H₂/SiH₄	Επιταξία SiC, Ανάπτυξη SiC PVT Μονοκρυστάλλου
Επίστρωση PyC	Ερμητική σφράγιση αερίου, εξαιρετικά λεία ανισότροπη επιφάνεια άνθρακα	Μόνωση θερμικού πεδίου, μονοκρυσταλλικό πυρίτιο CZ