Groothandel OEM/ODM GaN-gebaseerde depitaxiaal op Sic-substraten 4′′

Korte beschrijving:

Waferdragers die worden gebruikt bij epitaxiale groeiprocessen moeten bestand zijn tegen hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging. CoorsTek Clear Carbon™ susceptors zijn speciaal ontworpen voor deze veeleisende toepassingen in epitaxieapparatuur. Hun met siliciumcarbide (SiC) gecoate grafietconstructie met hoge zuiverheidsgraad biedt superieure hittebestendigheid, gelijkmatige thermische uniformiteit voor een consistente dikte en bestendigheid van de epilaag, en duurzame chemische bestendigheid. De fijne SiC-kristalcoating zorgt voor een schoon, glad oppervlak, cruciaal voor de verwerking, aangezien ongerepte wafers op veel punten over het hele oppervlak in contact komen met de susceptor.

Stuur ons een e-mail Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

Het is een goede manier om onze producten en oplossingen te verbeteren en te repareren. Onze missie is om creatieve producten en oplossingen te produceren voor klanten met behulp van een fantastische ervaring met groothandel OEM/ODM GaN-gebaseerde depitaxiale op Sic-substraten van 4 inch. We richten ons op het opbouwen van ons eigen merk en combineren dit met talloze ervaren experts en hoogwaardige apparatuur. Onze producten zijn de moeite waard.
Het is een goede manier om onze producten en diensten te verbeteren en te repareren. Onze missie is om creatieve producten en diensten te leveren aan klanten met een fantastische ervaring.China GaN-substraten en GaN-filmMet een breed assortiment, goede kwaliteit, redelijke prijzen en stijlvolle designs worden onze producten veelvuldig gebruikt in de beauty- en andere sectoren. Onze producten en oplossingen worden breed erkend en vertrouwd door gebruikers en kunnen voldoen aan continu veranderende economische en maatschappelijke behoeften.

SiC-coating grafiet MOCVD Wafer-dragers

Al onze susceptors zijn gemaakt van hoogwaardig isostatisch grafiet. Profiteer van de hoge zuiverheid van ons grafiet – speciaal ontwikkeld voor uitdagende processen zoals epitaxie, kristalgroei, ionenimplantatie en plasma-etsen, evenals voor de productie van ledchips.

Productomschrijving
SiC-coating van grafietsubstraat voor halfgeleidertoepassingen resulteert in een onderdeel met superieure zuiverheid en weerstand tegen oxiderende atmosfeer.
CVD SiC of CVI SiC wordt toegepast op grafiet van eenvoudige of complexe onderdelen. De coating kan in verschillende diktes en op zeer grote onderdelen worden aangebracht.

Component

SiC-coating grafiet MOCVD Wafer-dragers

Speciale voordelen van onze SiC-gecoate grafietsusceptoren zijn onder andere een extreem hoge zuiverheid, homogene coating en een uitstekende levensduur. Ze hebben ook een hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteit.

We hanteren zeer nauwe toleranties bij het aanbrengen van de SiC-coating en gebruiken zeer nauwkeurige bewerking om een uniform susceptorprofiel te garanderen. We produceren ook materialen met ideale elektrische weerstandseigenschappen voor gebruik in inductief verwarmde systemen. Alle afgewerkte componenten worden geleverd met een certificaat voor zuiverheid en maatvoering.

Sollicitatie:

Functies:
· Uitstekende thermische schokbestendigheid
· Uitstekende fysieke schokbestendigheid
· Uitstekende chemische bestendigheid
· Superhoge zuiverheid
· Beschikbaarheid in complexe vorm
· Bruikbaar onder oxiderende atmosfeerTypische eigenschappen van basisgrafietmateriaal:

Schijnbare dichtheid:	1,85 g/cm3
Elektrische weerstand:	11 μΩm
Buigsterkte:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore-hardheid:	58
As:	<5 ppm
Thermische geleidbaarheid:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Het is een goede manier om onze producten en oplossingen te verbeteren en te repareren. Onze missie is om creatieve producten en oplossingen te produceren voor klanten met behulp van een fantastische ervaring met groothandel OEM/ODM GaN-gebaseerde depitaxiale op Sic-substraten van 4 inch. We richten ons op het opbouwen van ons eigen merk en combineren dit met talloze ervaren experts en hoogwaardige apparatuur. Onze producten zijn de moeite waard.
Groothandel OEM/ODMChina GaN-substraten en GaN-filmMet een breed assortiment, goede kwaliteit, redelijke prijzen en stijlvolle designs worden onze producten veelvuldig gebruikt in de beauty- en andere sectoren. Onze producten en oplossingen worden breed erkend en vertrouwd door gebruikers en kunnen voldoen aan continu veranderende economische en maatschappelijke behoeften.