Groothandel OEM/ODM GaN-gebaseerde epitaxiale lagen op SiC-substraten 4′′

Korte beschrijving:

Waferdragers die worden gebruikt bij epitaxiale groeiprocessen moeten bestand zijn tegen hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging. CoorsTek Clear Carbon™-susceptoren zijn speciaal ontworpen voor deze veeleisende toepassingen in epitaxieapparatuur. Hun constructie van met zeer zuiver siliciumcarbide (SiC) gecoat grafiet biedt superieure hittebestendigheid, gelijkmatige thermische uniformiteit voor een consistente dikte en weerstand van de epitaxiale laag, en duurzame chemische bestendigheid. De fijne SiC-kristalcoating zorgt voor een schoon en glad oppervlak, wat cruciaal is voor de hantering, aangezien onberispelijke wafers op vele punten over hun gehele oppervlak contact maken met de susceptor.

Stuur ons een e-mail. Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

Het is een uitstekende manier om onze producten, oplossingen en reparaties te verbeteren. Onze missie is om innovatieve producten en oplossingen te leveren aan onze klanten, gebaseerd op een fantastische werkervaring voor OEM/ODM GaN-gebaseerde epitaxiale chips op SiC-substraten van 4 inch. We richten ons op het opbouwen van ons eigen merk, in combinatie met een groot aantal ervaren professionals en eersteklas apparatuur. Onze producten zijn de investering waard.
Het is eigenlijk een goede manier om onze producten, oplossingen en reparaties te verbeteren. Onze missie zou moeten zijn om innovatieve producten en oplossingen te creëren voor onze klanten, met een fantastische werkervaring.GaN-substraten en GaN-films uit ChinaMet een breed assortiment, goede kwaliteit, redelijke prijzen en stijlvolle ontwerpen worden onze producten veelvuldig gebruikt in de beauty- en andere industrieën. Onze producten en oplossingen worden alom erkend en vertrouwd door gebruikers en kunnen inspelen op de voortdurend veranderende economische en maatschappelijke behoeften.

SiC-coating grafiet MOCVD Waferdragers

Al onze susceptoren zijn gemaakt van zeer sterk isostatisch grafiet. Profiteer van de hoge zuiverheid van ons grafiet – speciaal ontwikkeld voor veeleisende processen zoals epitaxie, kristalgroei, ionenimplantatie en plasma-etsen, en voor de productie van LED-chips.

Productbeschrijving
De SiC-coating van een grafietsubstraat voor halfgeleidertoepassingen levert een onderdeel op met een superieure zuiverheid en weerstand tegen oxiderende atmosfeer.
CVD SiC of CVI SiC wordt aangebracht op grafiet van eenvoudige of complexe onderdelen. De coating kan in verschillende diktes worden aangebracht en is geschikt voor zeer grote onderdelen.

Component

SiC-coating grafiet MOCVD Waferdragers

De bijzondere voordelen van onze met SiC gecoate grafietsusceptoren zijn de extreem hoge zuiverheid, de homogene coating en de uitstekende levensduur. Ze beschikken bovendien over een hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteit.

Bij het aanbrengen van de SiC-coating hanteren we zeer nauwe toleranties en maken we gebruik van uiterst nauwkeurige bewerkingstechnieken om een uniform susceptorprofiel te garanderen. We produceren tevens materialen met ideale elektrische weerstandseigenschappen voor gebruik in inductief verwarmde systemen. Alle afgewerkte componenten worden geleverd met een certificaat van zuiverheid en dimensionale conformiteit.

Sollicitatie:

Functies:
• Uitstekende thermische schokbestendigheid
• Uitstekende fysieke schokbestendigheid
• Uitstekende chemische bestendigheid
• Superhoge zuiverheid
• Beschikbaar in complexe vormen
• Bruikbaar in een oxiderende atmosfeerTypische eigenschappen van basisgrafietmateriaal:

Schijnbare dichtheid:	1,85 g/cm3
Elektrische weerstand:	11 μΩm
Buigsterkte:	49 MPa (500 kgf/cm²)
Shore-hardheid:	58
As:	<5 ppm
Thermische geleidbaarheid:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Het is een uitstekende manier om onze producten, oplossingen en reparaties te verbeteren. Onze missie is om innovatieve producten en oplossingen te leveren aan onze klanten, gebaseerd op een fantastische werkervaring voor OEM/ODM GaN-gebaseerde epitaxiale chips op SiC-substraten van 4 inch. We richten ons op het opbouwen van ons eigen merk, in combinatie met een groot aantal ervaren professionals en eersteklas apparatuur. Onze producten zijn de investering waard.
Groothandel OEM/ODMGaN-substraten en GaN-films uit ChinaMet een breed assortiment, goede kwaliteit, redelijke prijzen en stijlvolle ontwerpen worden onze producten veelvuldig gebruikt in de beauty- en andere industrieën. Onze producten en oplossingen worden alom erkend en vertrouwd door gebruikers en kunnen inspelen op de voortdurend veranderende economische en maatschappelijke behoeften.