Bongata ba SiC e Phahameng ea CVD e Tiileng

Setšoantšo se Hlahisitsoeng sa High Purity CVD Solid SiC Bulk

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Khōlo e potlakileng ea likristale tse le 'ngoe tsa SiC tse sebelisang mehloli e mengata ea CVD-SiC (Chemical Vapor Deposition - SiC) ke mokhoa o tloaelehileng oa ho lokisa thepa ea kristale e le 'ngoe ea SiC ea boleng bo holimo. Likristale tsena tse le 'ngoe li ka sebelisoa lits'ebetsong tse fapaneng, ho kenyeletsoa lisebelisoa tsa elektroniki tse matla haholo, lisebelisoa tsa optoelectronic, li-sensor le lisebelisoa tsa semiconductor.

Romella imeile ho rona Khoasolla e le PDF

Qaqiso ea Sehlahisoa

Li-tag tsa Sehlahisoa

VET Energy e sebelisa bohloeki bo phahameng haholokhabide ea silicon (SiC)e entsoeng ka ho kenngoa ha mouoane oa lik'hemik'hale(CVD)e le mohloli oa thepa ea ho lemaLikristale tsa SiCka ho tsamaisa mouoane oa 'mele (PVT). Ho PVT, thepa ea mohloli e kenngoa ka har'asebopi sa mollo'me ea theoleloa holim'a kristale ea peo.

Ho hlokahala mohlodi o hloekileng haholo ho hlahisa boleng bo holimoLikristale tsa SiC.

VET Energy e ikgethile ka ho fana ka SiC ya dikarolo tse kgolo bakeng sa PVT hobane e na le boima bo phahameng ho feta thepa ya dikarolo tse nyane e bopilweng ke ho tjheswa ka tshohanyetso ha dikgase tse nang le Si le C. Ho fapana le ho tjheswa ha mokgahlelo o tiileng kapa karabelo ya Si le C, ha e hloke sebopi se ikgethileng sa ho tjheswa kapa kgato ya ho tjheswa e jang nako ka seboping sa kgolo. Thepa ena ya dikarolo tse kgolo e na le sekgahla se batlang se sa fetohe sa ho fetoha ha mouwane, e leng se ntlafatsang ho tshwana ha ho matha ho ya ho matha.

Selelekela:
1. Lokisa mohlodi wa boloko ba CVD-SiC: Taba ya pele, o hloka ho lokisa mohlodi wa boloko ba CVD-SiC wa boleng bo hodimo, oo hangata o leng wa bohlweki bo hodimo le ho ba le bongata bo hodimo. Sena se ka lokiswa ka mokgwa wa chemical vapor deposition (CVD) tlasa maemo a loketseng a karabelo.

2. Tokisetso ea substrate: Khetha substrate e loketseng e le substrate bakeng sa kholo ea kristale e le 'ngoe ea SiC. Lisebelisoa tsa substrate tse sebelisoang hangata li kenyelletsa silicon carbide, silicon nitride, jj., tse lumellanang hantle le kristale e le 'ngoe ea SiC e ntseng e hola.

3. Ho futhumatsa le ho kenya sublimation: Beha mohlodi wa bloko ya CVD-SiC le substrate ka seboping sa mocheso o phahameng mme o fane ka maemo a loketseng a ho kenya sublimation. Ho kenya sublimation ho bolela hore mochesong o phahameng, mohlodi wa bloko o fetoha ka ho toba ho tloha boemong ba ho tiea ho ya boemong ba mouoane, ebe o boela o kobeha hodima bokahodimo ba substrate ho etsa kristale e le nngwe.

4. Taolo ea mocheso: Nakong ea ts'ebetso ea sublimation, gradient ea mocheso le kabo ea mocheso li hloka ho laoloa ka nepo ho khothaletsa sublimation ea mohloli oa block le kholo ea likristale tse le 'ngoe. Taolo e nepahetseng ea mocheso e ka fihlella boleng bo botle ba kristale le sekhahla sa kholo.

5. Taolo ea sepakapaka: Nakong ea ts'ebetso ea sublimation, sepakapaka sa karabelo le sona se hloka ho laoloa. Khase e se nang metsi e hloekileng haholo (joalo ka argon) hangata e sebelisoa e le khase e tsamaisang ho boloka khatello le bohloeki bo loketseng le ho thibela tšilafalo ke litšila.

6. Kgolo ya kristale e le nngwe: Mohlodi wa thipa ya CVD-SiC o feta phetohong ya mouoane nakong ya tshebetso ya sublimation mme o boela o kopana hodima bokahodimo ba substrate ho etsa sebopeho se le seng sa kristale. Kgolo e potlakileng ya kristale e le nngwe ya SiC e ka fihlellwa ka maemo a loketseng a sublimation le taolo ya gradient ya mocheso.