OKuvars Fırın TüpleriYarı iletken üretiminde, fotovoltaik endüstrisinde, malzeme ısıl işleminde ve laboratuvar araştırmalarında temel sarf malzemeleridir. Mükemmel termal kararlılığa, kimyasal inertliğe ve optik şeffaflığa sahip yüksek saflıkta erimiş silikadan (SiO2) üretilmiştir. Bu ürün, yüksek sıcaklık işlemleri (difüzyon, oksidasyon, CVD, tavlama vb.) için tasarlanmıştır ve çeşitli tüp fırınlarına ve PECVD ekipmanlarına uyarlanabilir; bu nedenle wafer işleme, fotovoltaik hücre kaplama, LED epitaksiyel büyüme ve diğer yüksek hassasiyet gerektiren alanlarda yaygın olarak kullanılır.
VET Energy kuvars tüplerinin temel avantajları:
-Ultra yüksek saflıkta malzeme
Hassas işlem ortamının kirlenmesini önlemek için %99,99 veya daha yüksek saflıkta, safsızlık içeriği (Na, K, Fe, vb.) <10 ppm olan kuvars kumu kullanılmıştır.
Yüzey pürüzlülüğü Ra≤0,8μm olup, partikül yapışmasını azaltır ve kaplama homojenliğini garanti eder.
-Mükemmel sıcaklık direnci
Uzun süreli çalışma sıcaklığı: 1200℃ (sürekli kullanım); kısa süreli tepe sıcaklık: 1450℃ (≤2 saat).
Düşük termal genleşme katsayısı (5,5x10-7/℃), mükemmel termal şok direncine sahip olup, hızlı sıcaklık artış ve düşüşlerine (≤10℃/dk) dayanabilir.
-Hassas boyut kontrolü
Fırın gövdesiyle tam uyum sağlamak için iç çap toleransı ±0,5 mm, doğruluk hatası <1 mm/m'dir.
Standart dışı özelleştirme desteği mevcuttur; iç çap aralığı 20 mm-500 mm, uzunluk 100 mm-3000 mm'dir.
-Kimyasal inertlik ve korozyon direnci
Güçlü asitlere (HF hariç), güçlü alkalilere ve çoğu organik çözücüye karşı dayanıklıdır, bu da kullanım ömrünü uzatır.
Mükemmel gaz sızdırmazlığı, sızıntı oranı <＜1x10-9Pa.m3/s, vakum veya koruyucu gaz ortamı için uygundur.
-Kişiselleştirilmiş hizmet
Özel proses gereksinimlerini karşılamak için destek açıklıkları, flanşlar, çok kanallı yapılar, şekillendirilmiş yapılar ve diğer tasarımlar.
Kristalleşme direncini artırmak için silisyum karbür (SiC) kaplama ile önceden kaplanabilir.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd, yüksek teknoloji ürünü gelişmiş malzemelerin geliştirilmesi ve üretimine odaklanan bir yüksek teknoloji şirketidir. Ürün yelpazesinde grafit, silisyum karbür, seramik, SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama gibi yüzey işlemleri yer almaktadır. Bu ürünler fotovoltaik, yarı iletken, yeni enerji, metalurji vb. alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.
Teknik ekibimiz, yurt içindeki önde gelen araştırma kurumlarından gelmekte olup, ürün performansı ve kalitesini sağlamak için birçok patentli teknoloji geliştirmiştir ve müşterilerine profesyonel malzeme çözümleri de sunabilmektedir.
