
ОнТрубки кварцевой печиЭто основные расходные материалы в полупроводниковом производстве, фотоэлектрической промышленности, термообработке материалов и лабораторных исследованиях. Они изготовлены из высокочистого плавленого кварца (SiO2) с превосходной термической стабильностью, химической инертностью и оптической прозрачностью. Этот продукт предназначен для высокотемпературных процессов (таких как диффузия, окисление, CVD, отжиг и т. д.) и может быть адаптирован к различным трубчатым печам и оборудованию PECVD, широко используемому в обработке пластин, нанесении покрытий на фотоэлектрические элементы, эпитаксиальном росте светодиодов и других высокоточных областях.
Основные преимущества кварцевых трубок VET Energy:
-Материал сверхвысокой чистоты
Использование высокочистого кварцевого песка (99,99% и более), содержание примесей (Na, K, Fe и др.) <10 ppm, позволяет избежать загрязнения чувствительной технологической среды.
Чистота поверхности Ra≤0,8 мкм, что снижает адгезию частиц и гарантирует однородность покрытия.
-Отличная термостойкость
Длительная рабочая температура: 1200℃ (непрерывное использование); кратковременный пик температуры: 1450℃ (≤2 часа).
Низкий коэффициент теплового расширения (5,5 х 10⁻⁶).-7/℃), обладает превосходной термостойкостью, выдерживает быстрое повышение и понижение температуры (≤10℃/мин).
-Точный контроль размеров
Допуск на внутренний диаметр ±0,5 мм, погрешность прямолинейности <1 мм/м, для обеспечения точного соответствия корпусу печи.
Поддерживается изготовление на заказ нестандартных размеров, диапазон внутреннего диаметра 20–500 мм, длина 100–3000 мм.
- Химическая инертность и коррозионная стойкость
Устойчив к сильным кислотам (за исключением HF), сильным щелочам и большинству органических растворителей, что продлевает срок службы.
Отличная газонепроницаемость, степень утечки <<1x10-9Па.м3/с, подходит для работы в вакууме или в среде защитного газа.
-Индивидуальный подход к обслуживанию
Опорные отверстия, фланцы, многоканальные конструкции, фасонные элементы и другие конструктивные решения для удовлетворения особых технологических требований.
Может быть предварительно покрыт слоем карбида кремния (SiC) для повышения устойчивости к кристаллизации.
Компания Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. — высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на разработке и производстве высококачественных передовых материалов, включая графит, карбид кремния, керамику, а также на обработке поверхностей, такой как покрытия SiC, TaC, стеклоуглерод, пиролитический углерод и др. Эти продукты широко используются в фотовольтаике, полупроводниковой промышленности, возобновляемой энергетике, металлургии и других отраслях.
Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, разработала множество запатентованных технологий, гарантирующих производительность и качество продукции, а также может предложить клиентам профессиональные решения в области материалов.
-
Пористая керамика из карбида кремния (SiC)
-
Изготовлено на заказ, устойчиво к высоким температурам и коррозии...
-
Усовершенствованный пористый керамический вакуумный патрон
-
Лодка из высокочистого кварца для обработки кремниевых пластин
-
Высокочистая керамика на основе оксида алюминия. Механический манипулятор.
-
Высокотемпературный и износостойкий оксид алюминия...



