
TheТрубки кварцевой печиявляются основными расходными материалами в производстве полупроводников, фотоэлектрической промышленности, термообработке материалов и лабораторных исследованиях. Они изготовлены из высокочистого плавленого кварца (SiO2) с превосходной термической стабильностью, химической инертностью и оптической прозрачностью. Этот продукт предназначен для высокотемпературных процессов (таких как диффузия, окисление, CVD, отжиг и т. д.) и может быть адаптирован к различным трубчатым печам и оборудованию PECVD, которые широко используются в обработке пластин, нанесении покрытий на фотоэлектрические элементы, эпитаксиальном росте светодиодов и других областях высокой точности.
Основные преимущества кварцевых трубок VET Energy:
-Материал сверхвысокой чистоты
Использование кварцевого песка высокой чистоты 99,99% или более, содержание примесей (Na, K, Fe и т. д.) <10 ppm, чтобы избежать загрязнения чувствительной технологической среды.
Шероховатость поверхности Ra≤0,8 мкм, что снижает адгезию частиц и гарантирует однородность покрытия.
-Отличная термостойкость
Длительная рабочая температура: 1200℃ (непрерывное использование); кратковременный пик температуры: 1450℃ (≤2 часов).
Низкий коэффициент теплового расширения (5,5x10-7/℃), отличная стойкость к тепловому удару, может выдерживать быстрое повышение и понижение температуры (≤10℃/мин).
-Точный контроль размера
Допуск внутреннего диаметра ±0,5 мм, погрешность прямолинейности <1 мм/м, чтобы обеспечить точное соответствие корпусу печи.
Поддержка нестандартных настроек, диапазон внутреннего диаметра 20–500 мм, длина 100–3000 мм.
-Химическая инертность и коррозионная стойкость
Устойчив к воздействию сильных кислот (кроме плавиковой кислоты), сильных щелочей и большинства органических растворителей, что продлевает срок службы.
Отличная газонепроницаемость, скорость утечки <<1x10-9Па.м3/с, подходит для вакуумной или защитной газовой среды.
-Индивидуальное обслуживание
Опорные отверстия, фланцы, многоканальные конструкции, фасонные конструкции и другие конструкции, отвечающие особым технологическим требованиям.
Может быть предварительно покрыт карбидом кремния (SiC) для повышения стойкости к кристаллизации.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. — высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на разработке и производстве высококачественных современных материалов, включая графит, карбид кремния, керамику, а также такие виды обработки поверхности, как покрытие SiC, покрытие TaC, стеклоуглеродное покрытие, пиролитическое углеродное покрытие и т. д. Эта продукция широко используется в фотоэлектрической энергетике, полупроводниках, новой энергетике, металлургии и т. д.
Наша техническая команда состоит из сотрудников ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и разработала множество запатентованных технологий для обеспечения производительности и качества продукции, а также может предложить клиентам профессиональные решения в области материалов.
-
Электродная гильза из оксида алюминия и керамики-полупроводника
-
Керамика из оксида алюминия высокой чистоты Механический рычаг
-
Изделия из алюмооксидной керамики по индивидуальному заказу
-
Расходные материалы для полупроводникового оборудования: оксид алюминия...
-
Полупроводниковая керамика на основе оксида алюминия Носитель пластины
-
Тигель из высокочистого кварца, используемый в фотовол...



