क्वार्ट्ज़ फर्नेस ट्यूबसेमीकंडक्टर निर्माण, फोटोवोल्टिक उद्योग, सामग्री ताप उपचार और प्रयोगशाला अनुसंधान में मुख्य उपभोग्य वस्तुएं हैं। वे उत्कृष्ट तापीय स्थिरता, रासायनिक जड़ता और ऑप्टिकल पारदर्शिता के साथ उच्च शुद्धता वाले फ्यूज्ड सिलिका (SiO2) से बने होते हैं। यह उत्पाद उच्च तापमान प्रक्रियाओं (जैसे प्रसार, ऑक्सीकरण, CVD, एनीलिंग, आदि) के लिए डिज़ाइन किया गया है, और इसे विभिन्न प्रकार की ट्यूब भट्टियों और PECVD उपकरणों के लिए अनुकूलित किया जा सकता है, जिनका व्यापक रूप से वेफर प्रसंस्करण, फोटोवोल्टिक सेल कोटिंग, एलईडी एपिटैक्सियल ग्रोथ और अन्य उच्च-सटीक क्षेत्रों में उपयोग किया जाता है।
वीईटी एनर्जी क्वार्ट्ज ट्यूब के मुख्य लाभ:
-अति-उच्च शुद्धता सामग्री
संवेदनशील प्रक्रिया वातावरण के संदूषण से बचने के लिए 99.99% या अधिक उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज रेत, अशुद्धता सामग्री (Na, K, Fe, आदि) <10ppm को अपनाना।
सतह परिष्करण Ra≤0.8μm, कण आसंजन को कम करता है और कोटिंग की एकरूपता की गारंटी देता है।
-उत्कृष्ट तापमान प्रतिरोध
दीर्घकालिक कार्य तापमान: 1200℃ (निरंतर उपयोग); अल्पकालिक तापमान शिखर: 1450℃ (≤2 घंटे)।
कम तापीय विस्तार गुणांक (5.5x10-7/℃), उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध, तेजी से तापमान वृद्धि और गिरावट (≤10℃/मिनट) का सामना कर सकता है।
-सटीक आकार नियंत्रण
भट्ठी के शरीर के साथ निकट मिलान सुनिश्चित करने के लिए आंतरिक व्यास की सहनशीलता ± 0.5 मिमी, सीधापन त्रुटि <1 मिमी/मी।
गैर-मानक अनुकूलन का समर्थन, आंतरिक व्यास रेंज 20 मिमी-500 मिमी, लंबाई 100 मिमी-3000 मिमी।
-रासायनिक निष्क्रियता और संक्षारण प्रतिरोध
मजबूत अम्ल (एचएफ को छोड़कर), मजबूत क्षार और अधिकांश कार्बनिक सॉल्वैंट्स के प्रति प्रतिरोधी, सेवा जीवन को बढ़ाता है।
उत्कृष्ट गैस कसाव, रिसाव दर <＜1x10-9पा.म3/s, वैक्यूम या सुरक्षात्मक गैस वातावरण के लिए उपयुक्त।
-अनुकूलित सेवा
विशेष प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए उद्घाटन, फ्लैंज, बहु-चैनल, आकार वाली संरचनाओं और अन्य डिजाइनों का समर्थन करें।
क्रिस्टलीकरण प्रतिरोध को बढ़ाने के लिए सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग के साथ पूर्व-चढ़ाया जा सकता है।
निंगबो वीईटी ऊर्जा प्रौद्योगिकी कं, लिमिटेड एक उच्च तकनीक उद्यम है जो उच्च अंत उन्नत सामग्री के विकास और उत्पादन पर ध्यान केंद्रित करता है, सामग्री और प्रौद्योगिकी जिसमें ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड, सिरेमिक, सतह उपचार जैसे SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग आदि शामिल हैं, इन उत्पादों का व्यापक रूप से फोटोवोल्टिक, अर्धचालक, नई ऊर्जा, धातु विज्ञान आदि में उपयोग किया जाता है।
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