Seramik Gofret Isıtıcı AlN Alümina Isıtma Elemanı
Yarı iletken üretiminde, yongaların ince film biriktirme, aşındırma vb. gibi çeşitli işlemlerden geçirilmesi gerekir. Bu bağlantılarda, yongaların belirli bir sıcaklığa kadar ısıtılması gerekir ve sıcaklık için katı gereksinimler vardır, çünkü sıcaklığın tekdüzeliği ürün verimi üzerinde çok önemli bir etkiye sahiptir ve ısıtma bileşenleri vazgeçilmezdir.
Seramik ısıtıcıdoğrudan işlem odasına uygulanır ve gofretle doğrudan temas halindedir. Sadece gofreti taşımakla kalmaz, aynı zamanda gofretin sabit ve tekdüze bir işlem sıcaklığı elde etmesini de sağlarlar. Yarı iletken ince film biriktirme ekipmanında temel bileşenlerdir!
Seramik ısıtıcı, gofreti destekleyen bir seramik taban ve onu destekleyen arka tarafta silindirik bir destek gövdesi içerir. Isıtma için direnç elemanına (ısıtma katmanı) ek olarak, seramik tabanın içinde veya yüzeyinde radyo frekans elektrotları (RF katmanı) da bulunur. Hızlı ısıtma ve soğutma elde etmek için seramik tabanın kalınlığı ince olmalıdır, ancak çok ince olması da sertliği azaltacaktır.
Seramik ısıtıcının desteği genellikle tabana benzer bir termal genleşme katsayısına sahip seramik malzemeden yapılır. Isıtıcı, terminalleri ve telleri plazma ve aşındırıcı kimyasal gazların etkilerinden korumak için benzersiz bir şaft eklem tabanı yapısına sahiptir. Destek, ısıtıcının tekdüze sıcaklığını sağlamak için bir ısı transfer gazı giriş ve çıkış borusu ile donatılmıştır. Taban ve destek, bir bağlama tabakası ile kimyasal olarak bağlanmıştır.
Seramik ısıtıcı, alüminyum nitrür (AlN), silisyum nitrür (Si3N4) ve alümina (Al2O3) gibi seramiklerden yapılabilir. Bunlar arasında, AlN seramik ısıtıcılar için en iyi seçimdir. Diğer malzemelerle karşılaştırıldığında, VET Energy'nin AlN seramiği aşağıdaki özelliklere sahiptir:
(1) İyi ısı iletkenliği;
(2) Yarı iletken silikon malzemelere eşleştirilmiş termal genleşme katsayısı;
(3) İyi mekanik özellikler, mükemmel aşınma direnci ve kapsamlı mekanik özellikler berilyum oksitten daha iyi ve alüminyum oksitle eşdeğerdir;
(4) Mükemmel kapsamlı elektriksel özellikler, mükemmel elektriksel yalıtım ve düşük dielektrik kaybı;
(5) Toksik olmayan ve çevre dostu.
Seramik Malzemelerin Veri Sayfası
| Öğe | %95 Alümina | %99 Alümina | Zirkonyum | Silisyum karbür | SilikonNitride | AlüminyumNitride |
| Renk | beyaz | Açık sarı | beyaz | siyah | siyah | gri |
| Yoğunluk (g/cm3) | 3,7 g/cm3 | 3,9 g/cm3 | 6,02 g/cm3 | 3,2 g/cm3 | 3,25 g/cm3 | 3,2 g/cm3 |
| Su emilimi | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Sertlik(HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Eğilme Dayanımı (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Basınç Dayanımı (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Young'ın Elastisite Modülü | 300 GPa | 300 GPa | 320 GPa | 450 GPa | 290 GPa | 310~350 GPa |
| Poisson Oranı | 0,23 | 0,23 | 0,25 | 0,14 | 0,24 | 0,24 |
| Isıl İletkenlik | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Dielektrik Dayanımı | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Hacim Direnci (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy, grafit, silisyum karbür, kuvars gibi yüksek kaliteli gelişmiş malzemelerin Ar-Ge ve üretimine odaklanan profesyonel bir üreticidir ve ayrıca SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama vb. gibi malzeme işlemlerine sahiptir. Ürünler fotovoltaik, yarı iletken, yeni enerji, metalurji vb. alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.
Yurtiçindeki en iyi araştırma kurumlarından gelen teknik ekibimiz, sizlere daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilir.
VET Energy'nin avantajları şunlardır:
• Kendi fabrikamız ve profesyonel laboratuvarımız;
• Sektör lideri saflık seviyeleri ve kalite;
• Rekabetçi fiyat ve Hızlı teslimat süresi;
• Dünya çapında çok sayıda sektör ortaklığı;
Fabrikamızı ve laboratuvarımızı her zaman ziyaret etmenizi bekliyoruz!
