Seramik Plaka Isıtıcı AlN Alümina Isıtma Elemanı
Yarı iletken üretiminde, ince film kaplama, aşındırma vb. gibi çeşitli işlemlerden geçirilmek üzere plakaların işlenmesi gerekir. Bu aşamalarda, plakaların belirli bir sıcaklığa ısıtılması gerekmektedir ve sıcaklık konusunda katı gereksinimler vardır, çünkü sıcaklığın homojenliği ürün verimi üzerinde çok önemli bir etkiye sahiptir ve ısıtma bileşenleri vazgeçilmezdir.
Seramik ısıtıcıBunlar doğrudan işlem odasına uygulanır ve gofretle doğrudan temas halindedir. Sadece gofreti taşımakla kalmaz, aynı zamanda gofretin istikrarlı ve homojen bir işlem sıcaklığı elde etmesini de sağlarlar. Yarı iletken ince film kaplama ekipmanlarında kilit bileşenlerdir!
Seramik ısıtıcı, yonga levhasını destekleyen seramik bir taban ve arka tarafında onu destekleyen silindirik bir destek gövdesi içerir. Isıtma için direnç elemanına (ısıtma katmanı) ek olarak, seramik tabanın içinde veya yüzeyinde radyo frekansı elektrotları (RF katmanı) da bulunur. Hızlı ısıtma ve soğutma sağlamak için seramik tabanın kalınlığı ince olmalıdır, ancak çok ince olması da rijitliği azaltacaktır.
Seramik ısıtıcının destek kısmı genellikle tabanın termal genleşme katsayısına benzer bir termal genleşme katsayısına sahip seramik malzemeden yapılır. Isıtıcı, terminalleri ve telleri plazma ve aşındırıcı kimyasal gazların etkilerinden korumak için benzersiz bir şaft bağlantı tabanı yapısına sahiptir. Destek, ısıtıcının homojen sıcaklığını sağlamak için bir ısı transfer gaz giriş ve çıkış borusu ile donatılmıştır. Taban ve destek, bir yapıştırma tabakası ile kimyasal olarak birleştirilmiştir.
Seramik ısıtıcılar, alüminyum nitrür (AlN), silisyum nitrür (Si3N4) ve alümina (Al2O3) gibi seramiklerden üretilebilir. Bunlar arasında AlN, seramik ısıtıcılar için en iyi seçimdir. Diğer malzemelerle karşılaştırıldığında, VET Energy'nin AlN seramiği aşağıdaki özelliklere sahiptir:
(1) İyi ısı iletkenliği;
(2) Yarı iletken silikon malzemelerle eşleşen termal genleşme katsayısı;
(3) İyi mekanik özellikler, mükemmel aşınma direnci ve kapsamlı mekanik özellikler berilyum oksitten daha iyidir ve alüminyum oksit ile eşdeğerdir;
(4) Mükemmel kapsamlı elektrik özellikleri, mükemmel elektrik yalıtımı ve düşük dielektrik kaybı;
(5) Zehirsiz ve çevre dostu.
Seramik Malzemeler Veri Sayfası
| Öğe | %95 Alümina | %99 Alümina | Zirkonya | Silisyum karbür | SilikonNitride | AlüminyumNitride |
| Renk | beyaz | Açık sarı | beyaz | siyah | siyah | gri |
| Yoğunluk (g/cm³) | 3,7 g/cm³ | 3,9 g/cm³ | 6,02 g/cm³ | 3,2 g/cm³ | 3,25 g/cm³ | 3,2 g/cm³ |
| Su Emilimi | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Sertlik (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Eğilme Dayanımı (MPa) | 300 MPa | 400 MPa | 1100 MPa | 450 MPa | 800 MPa | 310 MPa |
| Basınç Dayanımı (MPa) | 2500 MPa | 2800 MPa | 3600 MPa | 2000 MPa | 2600 MPa | - |
| Young Elastikiyet Modülü | 300 GPa | 300 GPa | 320 GPa | 450 GPa | 290 GPa | 310~350 GPa |
| Poisson Oranı | 0.23 | 0.23 | 0,25 | 0.14 | 0,24 | 0,24 |
| Isı İletkenliği | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Dielektrik Dayanımı | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Hacimsel Direnç (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy, grafit, silisyum karbür, kuvars gibi yüksek kaliteli gelişmiş malzemelerin yanı sıra SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama vb. malzeme işleme yöntemlerinin Ar-Ge ve üretimine odaklanan profesyonel bir üreticidir. Ürünler, fotovoltaik, yarı iletken, yeni enerji, metalurji vb. alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.
Teknik ekibimiz, yurt içindeki önde gelen araştırma kurumlarından gelmektedir ve size daha profesyonel malzeme çözümleri sunabilir.
VET Energy'nin avantajları şunlardır:
• Kendi fabrikamız ve profesyonel laboratuvarımız;
• Sektör lideri saflık seviyeleri ve kalite;
• Rekabetçi fiyat ve hızlı teslimat süresi;
• Dünya çapında çok sayıda sektör ortaklığı;
Fabrikamızı ve laboratuvarımızı dilediğiniz zaman ziyaret etmenizi memnuniyetle karşılıyoruz!
