その石英炉管半導体製造、太陽光発電産業、材料熱処理、研究室研究における中核消耗品です。高純度の溶融シリカ（SiO2）を原料とし、優れた熱安定性、化学的不活性、光学的透明性を備えています。高温プロセス（拡散、酸化、CVD、アニールなど）向けに設計されており、各種チューブ炉やPECVD装置に適応可能です。これらの装置は、ウェーハ処理、太陽電池コーティング、LEDエピタキシャル成長などの高精度分野に広く使用されています。
VET Energy 石英管の主な利点:
-超高純度素材
99.99%以上の高純度石英砂を採用し、不純物含有量（Na、K、Feなど）が10ppm未満であるため、敏感なプロセス環境の汚染を回避できます。
表面仕上げRa≤0.8μmで、粒子の付着を低減し、コーティングの均一性を保証します。
-優れた耐熱性
長期使用温度：1200℃（連続使用）、短期温度ピーク：1450℃（≤2時間）。
低熱膨張係数（5.5x10-7/℃）、優れた耐熱衝撃性を備え、急激な温度上昇と温度下降（≤10℃/分）に耐えることができます。
-正確なサイズ制御
内径許容差は±0.5mm、真直度誤差は1mm/m未満で、炉本体との適合性が確保されます。
非標準カスタマイズをサポート、内径範囲 20mm ～ 500mm、長さ 100mm ～ 3000mm。
-化学的不活性および耐腐食性
強酸（HFを除く）、強アルカリ、ほとんどの有機溶剤に耐性があり、耐用年数が長くなります。
優れた気密性、漏れ率<＜1x10-9パム3/s、真空または保護ガス環境に適しています。
-カスタマイズされたサービス
特殊なプロセス要件を満たすために、開口部、フランジ、マルチチャネル、成形構造、その他の設計をサポートします。
結晶化耐性を高めるために、炭化ケイ素 (SiC) コーティングを事前に施すことができます。
寧波VETエネルギーテクノロジー株式会社は、ハイエンドの先端材料の開発と製造に注力しているハイテク企業です。その材料と技術にはグラファイト、炭化ケイ素、セラミック、SiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどの表面処理が含まれており、これらの製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などに広く使用されています。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、製品の性能と品質を保証するために複数の特許技術を開発しており、お客様に専門的な材料ソリューションを提供することもできます。
