の石英炉管半導体製造、太陽光発電産業、材料熱処理、および研究室における主要な消耗品です。高純度溶融石英（SiO2）製で、優れた熱安定性、化学的不活性、および光学的透明性を備えています。この製品は、拡散、酸化、CVD、アニーリングなどの高温プロセス向けに設計されており、さまざまな管状炉やPECVD装置に対応し、ウェーハ処理、太陽電池コーティング、LEDエピタキシャル成長などの高精度分野で幅広く使用されています。
VET Energy製石英管の主な利点：
超高純度材料
純度99.99%以上の高純度石英砂を採用し、不純物含有量（Na、K、Feなど）は10ppm未満に抑えることで、繊細なプロセス環境の汚染を回避します。
表面粗さRa≤0.8μmにより、粒子付着を低減し、コーティングの均一性を保証します。
優れた耐熱性
長期動作温度：1200℃（連続使用時）、短時間最高温度：1450℃（2時間以内）。
低い熱膨張係数（5.5×10⁻⁶）-7/℃)、優れた耐熱衝撃性を持ち、急激な温度上昇と下降 (≤10℃/分) に耐えることができます。
-正確なサイズ制御
内径公差±0.5mm、真直度誤差<1mm/mで、炉本体との密着性を確保します。
非標準仕様のカスタマイズに対応しており、内径範囲は20mm～500mm、長さは100mm～3000mmです。
化学的不活性および耐腐食性
強酸（HFを除く）、強アルカリ、およびほとんどの有機溶剤に耐性があり、耐用年数を延ばします。
優れた気密性、漏洩率＜＜1×10-9パ.m.3/s、真空または保護ガス環境に適しています。
-カスタマイズされたサービス
開口部、フランジ、マルチチャンネル、異形構造物、その他特殊なプロセス要件を満たすための設計をサポートします。
結晶化耐性を高めるために、炭化ケイ素（SiC）コーティングを事前に施すことができます。
寧波VETエネルギー技術有限公司は、ハイエンドの先進材料の開発と製造に注力するハイテク企業です。グラファイト、炭化ケイ素、セラミックス、SiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどの表面処理を含む材料と技術を取り扱っており、これらの製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などの分野で幅広く使用されています。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、製品の性能と品質を保証するための複数の特許技術を開発しています。また、お客様に専門的な材料ソリューションを提供することも可能です。
