Kuvars Levha TeknesiYarı iletken üretiminde, fotovoltaik hücre üretiminde ve ileri malzeme araştırma ve geliştirmesinde önemli bir taşıyıcı araçtır; yüksek sıcaklık işlemlerinde kararlı gofret transferi ve konumlandırması için tasarlanmıştır. Bu ürün, mükemmel sıcaklık dayanımı, kimyasal kararlılık ve ultra düşük metal kirlenme özelliklerine sahip, ultra yüksek saflıkta erimiş silikadan (SiO2) üretilmiştir; difüzyon fırını, oksidasyon fırını, PECVD/LPCVD ve diğer ekipmanlar için uygundur ve gofret kaplama, iyon implantasyonu, yüksek sıcaklıkta tavlama ve diğer temel işlemlerde yaygın olarak kullanılır.
VET Energy'nin kuvars teknesinin başlıca avantajları:
- Ultra yüksek saflıkta malzeme
Saflık ≥%99,99: Safsızlık içeriği (Na, K, Fe, vb.) <5 ppm, gofret kirlenmesini önler ve çip verimliliğini garanti eder.
Düşük çökelme ve adsorpsiyon: Parçacık yapışmasını ve gaz kalıntısını azaltmak için yüzey süper cilalanmıştır (Ra≤0,4μm). - Yüksek sıcaklık kararlılığı
Sıcaklık limiti: Uzun süreli çalışma sıcaklığı 1100℃, kısa süreli tepe noktası 1300℃, deformasyon yok, kristal çökelmesi yok.
Düşük termal genleşme katsayısı (5,5x10-7/℃), mükemmel termal şok direnci, hızlı sıcaklık artışı ve düşüşü süreçlerine (örneğin RTP hızlı tavlama) uyum sağlar. - Hassas yapısal tasarım
Yuva hassasiyeti ±0,1 mm: 2 ila 12 inç arası wafer'larla eşleştirme, aralık homojenliği hatası <0,05 mm, wafer'larda kayma olmamasını sağlar.
Yüksek yük kapasitesi: Tek bir teknede maksimum 50 adet wafer (12 inçlik wafer cinsinden) yük taşıma kapasitesi, ince wafer'ların (≥100 µm) istikrarlı bir şekilde aktarılmasını destekler. - Kimyasal atalet
Korozyon direnci: Asit (HF hariç), alkali ve organik çözücü korozyonuna dayanıklıdır, CMP temizleme işlemiyle uyumludur.
Mükemmel gaz sızdırmazlığı: Sızıntı oranı <5x10-10 Pa.m3/s, vakum ve koruyucu gaz ortamları için uygundur. - Uzun ömür ve bakım kolaylığı
Normal çalışma koşullarında 5000 döngü ve üzeri kullanım ömrü sayesinde yüzey tekrar tekrar temizlenip kullanılabilir, bu da genel maliyeti düşürür.
Modüler tasarım: Kısmi değişimi (örneğin tek bir tekne dişi) destekleyerek arıza süresini azaltır.
Müşterinin talebine göre hem şeffaf hem de buzlu yüzeyler sunuyoruz:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd, yüksek teknoloji ürünü gelişmiş malzemelerin üretimi ve satışına odaklanan bir yüksek teknoloji şirketidir. Ürün yelpazesinde grafit, silisyum karbür, seramik, SiC kaplama, TaC kaplama, camsı karbon kaplama, pirolitik karbon kaplama gibi yüzey işlemleri yer almaktadır. Bu ürünler fotovoltaik, yarı iletken, yeni enerji, metalurji vb. alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.
Teknik ekibimiz, yurt içindeki önde gelen araştırma kurumlarından gelmekte olup, ürün performansı ve kalitesini sağlamak için birçok patentli teknoloji geliştirmiştir ve müşterilerine profesyonel malzeme çözümleri de sunabilmektedir.
