Yarı iletken endüstrisinin grafit malzeme gereksinimleri özellikle yüksektir; ince parçacıklı grafit, yüksek hassasiyet, yüksek sıcaklık dayanımı, yüksek mukavemet, düşük kayıp ve diğer avantajlara sahiptir, örneğin: sinterlenmiş grafit ürün kalıpları.Yarı iletken endüstrisinde kullanılan grafit ekipmanların (ısıtıcılar ve sinterlenmiş kalıplar dahil) tekrarlanan ısıtma ve soğutma işlemlerine dayanması gerektiğinden, grafit ekipmanların kullanım ömrünü uzatmak için genellikle kullanılan grafit malzemelerin istikrarlı performans ve ısıya dayanıklı darbe fonksiyonuna sahip olması gerekmektedir.
01 Yarı iletken kristal büyümesi için grafit aksesuarları
Yarı iletken kristallerin yetiştirilmesinde kullanılan tüm işlemler yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamda gerçekleşir. Kristal büyüme fırınının sıcak bölgesi genellikle ısıtıcı, pota, yalıtım silindiri, kılavuz silindiri, elektrot, pota tutucu, elektrot somunu vb. gibi ısıya ve korozyona dayanıklı yüksek saflıkta grafit bileşenlerle donatılmıştır.
Kristal üretim cihazlarının tüm grafit parçalarını üretebiliyoruz; bu parçalar tek tek veya set halinde tedarik edilebileceği gibi, müşteri taleplerine göre çeşitli boyutlarda özel grafit parçalar da üretebiliyoruz. Ürünlerin boyutları yerinde ölçülebilir ve nihai ürünlerin kül içeriği daha düşük olabilir.5 ppm'den fazla.
02 Yarı iletken epitaksi için grafit aksesuarları
Epitaksiyel işlem, tek kristal alt tabaka üzerinde, alt tabaka ile aynı kafes düzenine sahip tek kristal malzemeden bir tabakanın büyümesini ifade eder. Epitaksiyel işlemde, plaka grafit disk üzerine yerleştirilir. Grafit diskin performansı ve kalitesi, plakanın epitaksiyel tabakasının kalitesinde hayati bir rol oynar. Epitaksiyel üretim alanında, çok yüksek saflıkta grafit ve SIC kaplamalı yüksek saflıkta grafit tabana ihtiyaç duyulmaktadır.
Şirketimizin yarı iletken epitaksi için kullandığı grafit taban, geniş bir uygulama yelpazesine sahiptir, sektörde yaygın olarak kullanılan ekipmanların çoğuyla uyumludur ve yüksek saflık, düzgün kaplama, mükemmel kullanım ömrü, yüksek kimyasal direnç ve termal kararlılık özelliklerine sahiptir.
03 İyon implantasyonu için grafit aksesuarları
İyon implantasyonu, bor, fosfor ve arsenik plazma ışınını belirli bir enerjiye hızlandırıp, daha sonra bu ışını yonga malzemesinin yüzey katmanına enjekte ederek yüzey katmanının malzeme özelliklerini değiştirme işlemidir. İyon implantasyon cihazının bileşenleri, mükemmel ısı direnci, ısı iletkenliği, iyon ışınından kaynaklanan korozyona karşı daha az direnç ve düşük safsızlık içeriğine sahip yüksek saflıkta malzemelerden yapılmalıdır. Yüksek saflıkta grafit, uygulama gereksinimlerini karşılar ve iyon implantasyon ekipmanının uçuş tüpü, çeşitli yarıklar, elektrotlar, elektrot kapakları, kanallar, ışın sonlandırıcıları vb. için kullanılabilir.
Çeşitli iyon implantasyon makineleri için grafit koruyucu kapak sağlamanın yanı sıra, yüksek saflıkta grafit elektrotlar ve çeşitli özelliklerde yüksek korozyon direncine sahip iyon kaynakları da sunabiliyoruz. Uygulanabilir modeller: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ve diğer ekipmanlar. Ayrıca, uyumlu seramik, tungsten, molibden, alüminyum ürünler ve kaplamalı parçalar da sağlayabiliyoruz.
04 Grafit yalıtım malzemeleri ve diğerleri
Yarı iletken üretim ekipmanlarında kullanılan ısı yalıtım malzemeleri arasında grafit sert keçe, yumuşak keçe, grafit folyo, grafit kağıt ve grafit ip bulunur.
Tüm hammaddelerimiz ithal grafittir ve müşterinin talebine göre özel boyutlarda kesilebilir veya bütün olarak satılabilir.
Karbon-karbon tepsi, güneş enerjisi monokristal silikon ve polikristal silikon hücrelerinin üretim sürecinde film kaplama için taşıyıcı olarak kullanılır. Çalışma prensibi şöyledir: silikon çip CFC tepsiye yerleştirilir ve film kaplama işlemi için fırın tüpüne gönderilir.
