
DeKvartsovnsrører centrale forbrugsvarer inden for halvlederfremstilling, fotovoltaisk industri, materialevarmebehandling og laboratorieforskning. De er lavet af højrent smeltet silica (SiO2) med fremragende termisk stabilitet, kemisk inertitet og optisk transparens. Dette produkt er designet til højtemperaturprocesser (såsom diffusion, oxidation, CVD, udglødning osv.) og kan tilpasses en række forskellige rørovne og PECVD-udstyr, der er meget anvendt i waferforarbejdning, fotovoltaisk cellebelægning, LED-epitaksial vækst og andre højpræcisionsområder.
De vigtigste fordele ved VET Energy kvartsrør:
-Materiale med ultrahøj renhed
Anvendelse af 99,99% eller mere kvartsand med høj renhed, urenhedsindhold (Na, K, Fe osv.) <10 ppm, for at undgå kontaminering af følsomt procesmiljø.
Overfladefinish Ra≤0,8 μm, hvilket reducerer partikelvedhæftning og garanterer ensartethed i belægningen.
- Fremragende temperaturbestandighed
Langvarig driftstemperatur: 1200 ℃ (kontinuerlig brug); kortvarig temperaturtop: 1450 ℃ (≤2 timer).
Lav termisk udvidelseskoefficient (5,5x10-7/℃), fremragende termisk stødbestandighed, kan modstå hurtige temperaturstigninger og -fald (≤10℃/min).
- Præcis størrelseskontrol
Tolerance for indvendig diameter ±0,5 mm, retlinjefejl <1 mm/m, for at sikre en tæt overensstemmelse med ovnhuset.
Understøtter ikke-standard tilpasning, indvendig diameterområde 20 mm-500 mm, længde 100 mm-3000 mm.
-Kemisk inertitet og korrosionsbestandighed
Resistent over for stærke syrer (undtagen HF), stærke baser og de fleste organiske opløsningsmidler, hvilket forlænger levetiden.
Fremragende gastæthed, lækagehastighed <<1x10-9Pa.m3/s, egnet til vakuum eller beskyttende gasmiljø.
-Tilpasset service
Støtteåbninger, flanger, flerkanalskonstruktioner, formede strukturer og andre designs for at opfylde særlige proceskrav.
Kan forbelægges med siliciumcarbid (SiC) belægning for at forbedre krystallisationsmodstanden.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en højteknologisk virksomhed, der fokuserer på udvikling og produktion af avancerede materialer i høj kvalitet. Materialerne og teknologien omfatter grafit, siliciumcarbid, keramik, overfladebehandling som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig kulstofbelægning, pyrolytisk kulstofbelægning osv. Disse produkter anvendes i vid udstrækning inden for solceller, halvledere, ny energi, metallurgi osv.
Vores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og har udviklet flere patenterede teknologier for at sikre produktets ydeevne og kvalitet, og kan også give kunderne professionelle materialeløsninger.









