Riscaldatore di grafite persunalizatu per wafer di siliciu semiconduttore, rivestimentu SiC

Descrizzione corta:

Specificazione Tecnica

VET-M3

Densità apparente (g/cm3)

≥1,85

Cuntenutu di cenere (PPM)

≤500

Durezza di a riva

≥45

Resistenza specifica (μ.Ω.m)

≤12

Resistenza à a flessione (Mpa)

≥40

Resistenza à a cumpressione (Mpa)

≥70

Dimensione massima di i grani (μm)

≤43

Coefficiente di Dilatazione Termica Mm/°C

≤4.4*10-6


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Specificazione Tecnica

VET-M3

Densità apparente (g/cm3)

≥1,85

Cuntenutu di cenere (PPM)

≤500

Durezza di a riva

≥45

Resistenza specifica (μ.Ω.m)

≤12

Resistenza à a flessione (Mpa)

≥40

Resistenza à a cumpressione (Mpa)

≥70

Dimensione massima di i grani (μm)

≤43

Coefficiente di Dilatazione Termica Mm/°C

≤4.4*10-6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Riscaldatore di grafite persunalizatu per wafer di siliciu semiconduttore

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