半導体シリコンウェハー、SiCコーティング用カスタムグラファイトヒーター

半導体シリコンウェハー、SiCコーティング用カスタムグラファイトヒーター（特集画像）

簡単な説明：

技術仕様	VET-M3
かさ密度（g/cm³）	≥1.85
灰分含有量（ppm）	≤500
ショア硬度	45歳以上
比抵抗（μΩ・m）	≤12
曲げ強度（MPa）	40歳以上
圧縮強度（MPa）	70歳以上
最大粒径（μm）	≤43
熱膨張係数（mm/℃）	≤4.4×10⁻⁶

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製品詳細

商品タグ

カスタマイズされた半導体シリコンウェハー用グラファイトヒーター

技術仕様	VET-M3
かさ密度（g/cm³）	≥1.85
灰分含有量（ppm）	≤500
ショア硬度	45歳以上
比抵抗（μΩ・m）	≤12
曲げ強度（MPa）	40歳以上
圧縮強度（MPa）	70歳以上
最大粒径（μm）	≤43
熱膨張係数（mm/℃）	≤4.4×10⁻⁶

半導体シリコンウェハー用カスタムグラファイトヒーター

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