半導体シリコンウェーハ、SiCコーティング用カスタマイズグラファイトヒーター

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簡単な説明:

技術仕様	VET-M3
嵩密度（g/cm3）	≥1.85
灰分含有量（PPM）	≤500
ショア硬度	≥45
比抵抗（μ.Ω.m）	≤12
曲げ強度（Mpa）	≥40
圧縮強度（Mpa）	≥70
最大粒径（μm）	≤43
熱膨張係数 mm/°C	≤4.4*10-6

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製品詳細

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カスタマイズ半導体シリコンウェーハ用グラファイトヒーター

技術仕様	VET-M3
嵩密度（g/cm3）	≥1.85
灰分含有量（PPM）	≤500
ショア硬度	≥45
比抵抗（μ.Ω.m）	≤12
曲げ強度（Mpa）	≥40
圧縮強度（Mpa）	≥70
最大粒径（μm）	≤43
熱膨張係数 mm/°C	≤4.4*10-6

半導体シリコンウェーハ用カスタマイズされたグラファイトヒーター

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