MaßgeschneidertGraphitheizung für Halbleiter-Silizium-Wafer
| Technische Spezifikation | Berufsbildung-M3 |
| Schüttdichte (g/cm3) | ≥1,85 |
| Aschegehalt (PPM) | ≤500 |
| Shore-Härte | ≥45 |
| Spezifischer Widerstand (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Biegefestigkeit (Mpa) | ≥40 |
| Druckfestigkeit (Mpa) | ≥70 |
| Max. Korngröße (μm) | ≤43 |
| Wärmeausdehnungskoeffizient mm/°C | ≤4,4*10-6
|






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