Aquecedor de grafite personalizado para wafer de silício semicondutor, revestimento de SiC

Descrição resumida:

Especificações técnicas

VET-M3

Densidade aparente (g/cm3)

≥1,85

Teor de cinzas (PPM)

≤500

Dureza da costa

≥45

Resistência específica (μ.Ω.m)

≤12

Resistência à flexão (MPa)

≥40

Resistência à compressão (MPa)

≥70

Tamanho máximo do grão (μm)

≤43

Coeficiente de expansão térmica (mm/°C)

≤4,4*10-6


Detalhes do produto

Etiquetas do produto

Especificações técnicas

VET-M3

Densidade aparente (g/cm3)

≥1,85

Teor de cinzas (PPM)

≤500

Dureza da costa

≥45

Resistência específica (μ.Ω.m)

≤12

Resistência à flexão (MPa)

≥40

Resistência à compressão (MPa)

≥70

Tamanho máximo do grão (μm)

≤43

Coeficiente de expansão térmica (mm/°C)

≤4,4*10-6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Aquecedor de grafite personalizado para wafer de silício semicondutor

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