Élément chauffant en graphite personnalisé pour plaquette de silicium semi-conducteur, revêtement SiC

Brève description :

Spécifications techniques

VET-M3

Masse volumique apparente (g/cm3)

≥1,85

Teneur en cendres (PPM)

≤500

Dureté Shore

≥45

Résistance spécifique (μ.Ω.m)

≤12

Résistance à la flexion (Mpa)

≥40

Résistance à la compression (Mpa)

≥70

Taille maximale des grains (μm)

≤43

Coefficient de dilatation thermique mm/°C

≤4,4*10-6


Détails du produit

Étiquettes de produit

Spécifications techniques

VET-M3

Masse volumique apparente (g/cm3)

≥1,85

Teneur en cendres (PPM)

≤500

Dureté Shore

≥45

Résistance spécifique (μ.Ω.m)

≤12

Résistance à la flexion (Mpa)

≥40

Résistance à la compression (Mpa)

≥70

Taille maximale des grains (μm)

≤43

Coefficient de dilatation thermique mm/°C

≤4,4*10-6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Élément chauffant en graphite personnalisé pour plaquette de silicium semi-conducteur

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Élément chauffant en graphite personnalisé pour plaquette de silicium semi-conducteur


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