Kvartswaferbåder et centralt bæreværktøj inden for halvlederfremstilling, produktion af solceller og avanceret materialeforskning og -udvikling, designet til stabil waferoverførsel og -positionering i højtemperaturprocesser. Dette produkt er lavet af smeltet silica (SiO2) med ultrahøj renhed med fremragende temperaturbestandighed, kemisk stabilitet og ultralave metalforureningsegenskaber, egnet til diffusionsovne, oxidationsovne, PECVD/LPCVD og andet udstyr, der er meget anvendt i waferbelægning, ionimplantation, højtemperaturglødning og andre kerneprocesser.
Kernefordelene ved VET Energys kvartsbåd:
- Materiale med ultrahøj renhed
Renhed ≥99,99%: Urenhedsindhold (Na, K, Fe osv.) <5 ppm, hvilket undgår waferkontaminering og garanterer chipudbytte.
Lav udfældning og adsorption: overfladen er superpoleret (Ra≤0,4 μm) for at reducere partikeladhæsion og gasrester. - Høj temperaturstabilitet
Temperaturgrænse: Langvarig driftstemperatur på 1100 ℃, kortvarig toptemperatur på 1300 ℃, ingen deformation, ingen krystaludfældning.
Lav termisk udvidelseskoefficient (5,5x10-7/℃), fremragende termisk chokmodstand, tilpasningsdygtig til hurtige temperaturstigninger og -fald (f.eks. RTP-hurtigglødning). - Præcis strukturel design
Slotpræcision ±0,1 mm: matchende 2” til 12” wafere, afstandsuniformitetsfejl <0,05 mm, hvilket sikrer, at wafere ikke har nogen forskydning.
Høj belastningskapacitet: Maksimal belastning på 50 wafere (i form af 12" wafere) i en enkelt båd, hvilket understøtter stabil overførsel af tynde wafere (≥100µm). - Kemisk inertitet
Korrosionsbestandighed: Modstandsdygtig over for syre- (undtagen HF-), alkali- og organiske opløsningsmiddelkorrosion, kompatibel med CMP-rengøringsprocessen.
Fremragende gastæthed: Lækagehastighed <5x10-10 Pa.m3/s, egnet til vakuum- og beskyttende gasmiljøer. - Lang levetid og vedligeholdelsesvenlighed
Forventet levetid ≥ 5000 cyklusser (normale driftsforhold), overfladen kan rengøres og bruges gentagne gange, hvilket reducerer de samlede omkostninger.
Modulært design: understøtter delvis udskiftning (f.eks. enkelt bådtand), hvilket reducerer nedetid.
Vi tilbyder både transparente og matterede overflader efter kundens behov:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er en højteknologisk virksomhed, der fokuserer på produktion og salg af avancerede materialer i høj kvalitet. Materialerne og teknologien omfatter grafit, siliciumcarbid, keramik, overfladebehandling som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig kulstofbelægning, pyrolytisk kulstofbelægning osv. Disse produkter anvendes i vid udstrækning inden for solceller, halvledere, ny energi, metallurgi osv.
Vores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og har udviklet flere patenterede teknologier for at sikre produktets ydeevne og kvalitet, og kan også give kunderne professionelle materialeløsninger.
