Særlige fordele ved vores SiC-belagte grafitsusceptorer omfatter ekstrem høj renhed, homogen belægning og en fremragende levetid.De har også høj kemisk resistens og termiske stabilitetsegenskaber.

SiC-belægning af grafitsubstrat til halvlederapplikationer producerer en del med overlegen renhed og modstandsdygtighed over for oxiderende atmosfære.
CVD SiC eller CVI SiC påføres grafit af simple eller komplekse designdele.Coating kan påføres i varierende tykkelser og på meget store dele.

Funktioner:
· Fremragende termisk stødmodstand
· Fremragende fysisk stødmodstand
· Fremragende kemisk resistens
· Super høj renhed
· Tilgængelig i kompleks form
· Anvendes under oxiderende atmosfære

Ansøgning:

Typiske egenskaber for basisgrafitmateriale:

Carbon leverer susceptorer og grafitkomponenter til alle nuværende epitaksereaktorer.Vores portefølje omfatter tønde-susceptorer til anvendte og LPE-enheder, pandekage-susceptorer til LPE-, CSD- og Gemini-enheder og single-wafer-susceptorer til anvendte og ASM-enheder. Ved at kombinere stærke partnerskaber med førende OEM'er, materialeekspertise og produktions-knowhow, SGL tilbyder det optimale design til din applikation.