Siliciumcarbidbelagt grafitsubstrat til halvledere, MOCVD-susceptor

Kort beskrivelse:

VET Energy SiC Coated Susceptor er et højtydende produkt designet til at give ensartet og pålidelig ydeevne over en længere periode. Den har super god varmebestandighed og termisk ensartethed, høj renhed og erosionsbestandighed, hvilket gør den til den perfekte løsning til waferbehandlingsapplikationer.


  • Oprindelsessted:Zhejiang, Kina (fastlandet)
  • Kemisk sammensætning:SiC-belagt grafit
  • Bøjningsstyrke:470 MPa
  • Termisk ledningsevne:300 W/mK
  • Kvalitet:Perfektionere
  • Fungere:CVD-SiC
  • Anvendelse:Halvleder/Fotovoltaisk
  • Densitet:3,21 g/cc
  • Termisk ekspansion:4 10-6/K
  • Aske: <5 ppm
  • Prøve:Tilgængelig
  • HS-kode:6903100000
  • Produktdetaljer

    Produktmærker

    VET Energy SiC Coated Susceptorer en højtydende løsning, der er omhyggeligt fremstillet til at levere pålidelig og ensartet ydeevne over en længere levetid og opfylder de strenge krav til halvlederproduktion. Med sin exceptionelle varmebestandighed, overlegen termisk ensartethed og høje renhed er dette produkt ideelt til MOCVD-waferbærere og andre waferbehandlingsapplikationer, der kræver stabilitet og præcision. Dens robuste erosionsbestandighed gør det til et førsteklasses valg til miljøer, hvor holdbarhed og kemisk robusthed er afgørende.

    VoresSiC-belagt grafitmodtagerstår som en kritisk komponent i halvlederfremstillingsprocessen og udnytter VET Energys eksklusive patenterede teknologi til at opnå ekstremt høj renhed, overlegen belægningsensartethed og bemærkelsesværdig termisk stabilitet. Belægningen forbedrer grafitsubstratet med høj kemisk resistens og en betydeligt forlænget levetid. VET Energys dedikation til kvalitet har resulteret i en SiC-belagt susceptor, der opfylder de udviklende behov på markedet for grafitwaferbærere og sætter en høj standard for SiC-belagte grafitsusceptorer, der anvendes iMOCVD-processer.

    64

    Nøglefunktioner ved SiC-belagte susceptorer:

    1. Modstand mod høj temperaturoxidation:Tåler temperaturer op til 1700 ℃, hvilket gør den velegnet til ekstreme forarbejdningsforhold.

    2. Høj renhed og termisk ensartethed:Sikrer ensartede resultater, afgørende forMOCVD-susceptorerog andre præcisionsapplikationer.

    3. Fremragende korrosionsbestandighed:Modstandsdygtig over for syre, alkali, salt og forskellige organiske reagenser.

    4. Forbedret overfladehårdhed:Kompakt overflade med fine partikler, der giver højere holdbarhed og levetid.

    5. Forlænget levetid:Konstrueret til vedvarende ydeevne og overgår standard siliciumcarbidbelagte susceptorer i barske procesmiljøer.

     

    Som en førende producent specialiserer VET Energy sig i skræddersyet grafit ogsiliciumcarbidproduktermed forskellige belægningsmuligheder, herunderSiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig kulstofbelægningog pyrolytisk kulstofbelægning. Vi er stolte af at betjene halvleder- og solcelleindustrien og levere siliciumcarbidbelagte grafitsusceptorer, der opfylder specifikke driftskrav.

    Vores tekniske team, med erfaring fra førende indenlandske forskningsinstitutioner, er dedikeret til at udvikle materialeløsninger til de skiftende behov.SiC-belagt grafitsusceptormarkedet. Gennem vores patenterede proces har VET Energy udviklet en unik teknologi, der forbedrer bindingsstyrken mellem siliciumcarbidbelægningen og substratet betydeligt, hvilket reducerer risikoen for løsrivelse og forbedrer den langsigtede pålidelighed.

    1

    Anvendelser og fordele inden for halvlederbehandling

    DeSiC-belægning til MOCVDmuliggørgrafitmodtagerkomponenter for at opretholde integriteten under høje temperaturer og korrosive miljøer, hvilket er afgørende for præcisionsproduktion af halvledere. Disse SiC-belagte grafitkomponenter er særligt værdsatte i processer, der kræver siliciumcarbidbelagte susceptorer tilgrafitwaferbærere, som kræver høj termisk stabilitet, renhed og modstandsdygtighed over for kemisk erosion.

    Med vores avancerede siliciumcarbidbelægningsteknikker fortsætter VET Energy med at støtte markedet for grafitwaferbærere ved at levere skræddersyede, højtydendeSiC-belagte grafitsusceptorerder adresserer branchespecifikke udfordringer, fra MOCVD-processer til applikationer med høj renhed inden for halvlederområdet.

    284

    Du er hjertelig velkommen til at besøge vores fabrik, lad os tale videre!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     

     


  • Tidligere:
  • Næste:

  • WhatsApp onlinechat!