pelapisan sic Pelapisan karbida silikon Pelapisan SiC dilapisi substrat Grafit untuk Semikonduktor

SiC memiliki sifat fisik dan kimia yang sangat baik, seperti titik leleh tinggi, kekerasan tinggi, ketahanan korosi dan ketahanan oksidasi. Terutama dalam kisaran 1800-2000 ℃, SiC memiliki ketahanan ablasi yang baik. Oleh karena itu, ia memiliki prospek aplikasi yang luas di bidang kedirgantaraan, peralatan senjata, dan bidang lainnya. Namun, SiC sendiri tidak dapat digunakan sebagaisebuah strukturbahan,sehingga metode pelapisan biasanya digunakan untuk memanfaatkan ketahanan aus dan ketahanan ablasinyazaman sekarang.

93Pemanas Substrat MOCVD, Elemen Pemanas Untuk MOCVD1

silikon karbidaBahan semikonduktor (SIC) merupakan bahan semikonduktor generasi ketigaebahan mikrokonduktor dikembangkan setelah bahan semikonduktor elemen generasi pertama (Si, GE) dan bahan semikonduktor majemuk generasi kedua (GaAs, gap, InP, dll.). Sebagai bahan semikonduktor celah pita lebar, silikon karbida memiliki karakteristik lebar celah pita besar, kekuatan medan tembus tinggi, konduktivitas termal tinggi, kecepatan drift saturasi pembawa tinggi, konstanta dielektrik kecil, ketahanan radiasi kuat, dan stabilitas kimia baik. Dapat digunakan untuk memproduksi berbagai perangkat frekuensi tinggi dan daya tinggi dengan ketahanan suhu tinggi dan dapat digunakan dalam situasi di mana perangkat silikon tidak kompeten, atau menghasilkan efek bahwa perangkat silikon sulit diproduksi dalam aplikasi umum.

Aplikasi utama: digunakan untuk pemotongan kawat silikon monokristalin 3-12 inci, silikon polikristalin, kalium arsenida, kristal kuarsa, dll. Teknik pemrosesan material untuk industri fotovoltaik surya, industri semikonduktor, dan industri kristal piezoelektrik.Digunakan dalamsemikonduktor, penangkal petir, elemen sirkuit, aplikasi suhu tinggi, detektor ultraviolet, bahan struktural, astronomi, rem cakram, kopling, filter partikulat diesel, pirometer filamen, film keramik, alat pemotong, elemen pemanas, bahan bakar nuklir, perhiasan, baja, peralatan pelindung, dukungan katalis dan bidang lainnya


Waktu posting: 17-Feb-2022
Obrolan Daring WhatsApp!