Revêtement SiC Revêtement en carbure de silicium Revêtement SiC revêtu de substrat en graphite pour semi-conducteur

Le SiC présente d'excellentes propriétés physiques et chimiques, telles qu'un point de fusion élevé, une dureté élevée, une résistance à la corrosion et à l'oxydation. Il présente une bonne résistance à l'ablation, notamment dans la plage de températures de 1800 à 2000 °C. Il offre donc de vastes perspectives d'application dans l'aérospatiale, l'armement et d'autres domaines. Cependant, le SiC lui-même ne peut pas être utilisé comme matériau.une structurematériel,la méthode de revêtement est donc généralement utilisée pour exploiter sa résistance à l'usure et à l'ablation.ce.

93Élément chauffant pour substrat MOCVD, pour MOCVD1

carbure de siliciumLe matériau semi-conducteur (SIC) est le matériau de troisième générationeMatériau semi-conducteur développé après la première génération de matériaux semi-conducteurs élémentaires (Si, GE) et la deuxième génération de matériaux semi-conducteurs composés (GaAs, gap, InP, etc.). En tant que matériau semi-conducteur à large bande interdite, le carbure de silicium présente les caractéristiques suivantes : large bande interdite, champ de claquage élevé, conductivité thermique élevée, vitesse de dérive de saturation des porteurs élevée, faible constante diélectrique, forte résistance aux radiations et bonne stabilité chimique. Il peut être utilisé pour la fabrication de divers dispositifs haute fréquence et haute puissance résistants aux températures élevées, et peut être utilisé dans les cas où les dispositifs en silicium sont inefficaces, ou pour produire des effets difficiles à produire dans des applications générales.

Application principale : utilisé pour la découpe de fil de silicium monocristallin de 3 à 12 pouces, de silicium polycristallin, d'arséniure de potassium, de cristal de quartz, etc. Matériaux de traitement d'ingénierie pour l'industrie solaire photovoltaïque, l'industrie des semi-conducteurs et l'industrie des cristaux piézoélectriques.Utilisé danssemi-conducteur, paratonnerre, élément de circuit, application haute température, détecteur ultraviolet, matériau de structure, astronomie, frein à disque, embrayage, filtre à particules diesel, pyromètre à filament, film céramique, outil de coupe, élément chauffant, combustible nucléaire, bijoux, acier, équipement de protection, support de catalyseur et autres domaines


Date de publication : 17 février 2022
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