반도체용 흑연 기판에 실리콘 카바이드(SiC) 코팅을 적용한 SiC 코팅

SiC는 높은 융점, 높은 경도, 내식성 및 내산화성 등 우수한 물리적, 화학적 특성을 가지고 있습니다. 특히 1800~2000℃ 범위에서 SiC는 우수한 내마모성을 나타냅니다. 따라서 항공우주, 무기 장비 및 기타 분야에서 폭넓은 응용 가능성을 가지고 있습니다. 그러나 SiC 자체는 다음과 같은 용도로 사용될 수 없습니다.구조적인재료,따라서 코팅 방법은 일반적으로 내마모성 및 내삭마성을 활용하기 위해 사용됩니다.세.

93MOCVD 기판 히터, MOCVD용 발열체1

탄화규소(SIC) 반도체 소재는 3세대 반도체 소재입니다.e실리콘 카바이드(SiC)는 1세대 원소 반도체 소재(Si, GE)와 2세대 화합물 반도체 소재(GaAs, GaP, InP 등) 이후에 개발된 마이크로도체 소재입니다. 넓은 밴드갭 반도체 소재인 SiC는 넓은 밴드갭, 높은 항복 전계 강도, 높은 열전도율, 빠른 캐리어 포화 드리프트 속도, 낮은 유전 상수, 강한 내방사선성 및 우수한 화학적 안정성 등의 특성을 가지고 있습니다. 고온 저항성을 요구하는 다양한 고주파 및 고출력 소자를 제조하는 데 사용될 수 있으며, 실리콘 소자가 적합하지 않거나 일반적인 응용 분야에서 실리콘 소자로는 구현하기 어려운 효과를 낼 수 있는 경우에 활용됩니다.

주요 용도: 3~12인치 길이의 단결정 실리콘, 다결정 실리콘, 비소칼륨, 석영 결정 등의 와이어 절단에 사용됩니다. 태양광 발전 산업, 반도체 산업 및 압전 결정 산업에서 사용되는 엔지니어링 가공 재료입니다.사용됨반도체피뢰침, 회로 소자, 고온 응용 분야, 자외선 검출기, 구조 재료, 천문학, 디스크 브레이크, 클러치, 디젤 미립자 필터, 필라멘트 고온계, 세라믹 필름, 절삭 공구, 발열체, 핵연료, 보석류, 철강, 보호 장비, 촉매 지지체 등 다양한 분야에 사용됩니다.


게시 시간: 2022년 2월 17일
왓츠앱 온라인 채팅!