Substrat Grafit Berlapis Karbida Silikon untuk Semikonduktor, Suseptor MOCVD

Deskripsi Singkat:

VET Energy SiC Coated Susceptor adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu yang lama. Produk ini memiliki ketahanan panas dan keseragaman termal yang sangat baik, kemurnian tinggi, ketahanan erosi, menjadikannya solusi yang sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.

Tempat Asal:Zhejiang, Tiongkok (Daratan)

Komposisi Kimia:Grafit berlapis SiC

Kekuatan lentur:470Mpa

Konduktivitas termal:300 W/mK

Kualitas:Sempurna

Fungsi:CVD-SiC

Aplikasi:Semikonduktor/Fotovoltaik

Kepadatan:3,21 gram/cc

Ekspansi termal:4 10-6/K

Abu: <5ppm

Mencicipi:Tersedia

Kode HS:6903100000

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Susceptor Berlapis SiC Energi VETadalah solusi berkinerja tinggi yang dibuat dengan cermat untuk memberikan kinerja yang andal dan konsisten sepanjang masa pakai yang panjang, memenuhi tuntutan ketat dari manufaktur semikonduktor. Dengan ketahanan panas yang luar biasa, keseragaman termal yang unggul, dan kemurnian tinggi, produk ini ideal untuk pembawa wafer MOCVD dan aplikasi pemrosesan wafer lainnya yang membutuhkan stabilitas dan presisi. Ketahanan erosi yang kuat menjadikannya pilihan utama untuk lingkungan yang sangat membutuhkan daya tahan dan ketahanan kimia.

KitaSuseptor Grafit Berlapis SiCmerupakan komponen penting dalam proses produksi semikonduktor, memanfaatkan teknologi eksklusif VET Energy yang dipatenkan untuk mencapai kemurnian yang sangat tinggi, keseragaman lapisan yang unggul, dan stabilitas termal yang luar biasa. Lapisan tersebut meningkatkan substrat grafit dengan ketahanan kimia yang tinggi dan masa pakai yang jauh lebih lama. Dedikasi VET Energy terhadap kualitas telah menghasilkan susceptor berlapis SiC yang memenuhi kebutuhan pasar pembawa wafer grafit yang terus berkembang, menetapkan standar tinggi untuk susceptor grafit berlapis SiC yang digunakan dalamProses MOCVD.

Fitur Utama Susceptor Berlapis SiC:

1. Tahan Oksidasi Suhu Tinggi:Tahan suhu hingga 1700℃, membuatnya cocok untuk kondisi pemrosesan ekstrem.

2. Kemurnian Tinggi dan Keseragaman Termal:Memastikan hasil yang konsisten, penting untukPenderita MOCVDdan aplikasi presisi lainnya.

3. Ketahanan Korosi yang Sangat Baik:Tahan terhadap asam, alkali, garam, dan berbagai reagen organik.

4. Peningkatan Kekerasan Permukaan:Permukaan padat dengan partikel halus yang memberikan daya tahan dan umur lebih tinggi.

5. Masa Pakai Lebih Lama:Direkayasa untuk kinerja berkelanjutan, mengungguli susceptor berlapis silikon karbida standar di lingkungan pemrosesan yang keras.

Sebagai produsen terkemuka, VET Energy mengkhususkan diri dalam grafit yang disesuaikan danproduk silikon karbidadengan berbagai pilihan pelapisan, termasukPelapisan SiC, Pelapisan TaC, lapisan karbon kaca, dan pelapisan karbon pirolitik. Kami dengan bangga melayani industri semikonduktor dan fotovoltaik, menyediakan susceptor grafit berlapis silikon karbida yang memenuhi tuntutan operasional tertentu.

Tim teknis kami, dengan pengalaman dari lembaga penelitian domestik terkemuka, didedikasikan untuk memajukan solusi material untuk kebutuhan yang terus berkembangSuseptor grafit berlapis SiCpasar. Melalui proses yang kami patenkan, VET Energy telah mengembangkan teknologi unik yang secara signifikan meningkatkan kekuatan ikatan antara lapisan silikon karbida dan substrat, mengurangi risiko terlepasnya dan meningkatkan keandalan jangka panjang.

Aplikasi dan Keuntungan dalam Pemrosesan Semikonduktor

ItuPelapisan SiC untuk MOCVDmemungkinkanpenerima grafitkomponen untuk menjaga integritas di bawah suhu tinggi dan lingkungan korosif, yang sangat penting untuk produksi semikonduktor presisi. Komponen grafit berlapis SiC ini sangat dihargai dalam proses yang membutuhkan susceptor berlapis silikon karbida untukpembawa wafer grafit, yang menuntut stabilitas termal tinggi, kemurnian, dan ketahanan terhadap erosi kimia.

Dengan teknik pelapisan silikon karbida canggih kami, VET Energy terus mendukung pasar pembawa wafer grafit dengan memberikan lapisan yang disesuaikan dan berkinerja tinggiSuseptor grafit berlapis SiCyang mengatasi tantangan spesifik industri, dari proses MOCVD hingga aplikasi kemurnian tinggi di bidang semikonduktor.