Recubrimiento de carburo de silicio Recubrimiento de SiC Recubrimiento de sustrato de grafito para semiconductores

El SiC posee excelentes propiedades físicas y químicas, como un alto punto de fusión, alta dureza, resistencia a la corrosión y resistencia a la oxidación. Especialmente en el rango de 1800-2000 ℃, el SiC tiene buena resistencia a la ablación. Por lo tanto, tiene amplias perspectivas de aplicación en la industria aeroespacial, equipos de armas y otros campos. Sin embargo, el SiC en sí mismo no puede utilizarse comouna estructuramaterial,Por lo tanto, el método de recubrimiento se utiliza habitualmente para aprovechar su resistencia al desgaste y a la ablación.ce.

93Calentador de sustrato MOCVD, elementos calefactores para MOCVD1

carburo de silicioEl material semiconductor (SIC) es la tercera generación de seEl carburo de silicio es un material semiconductor desarrollado tras la primera generación de semiconductores elementales (Si, GE) y la segunda generación de semiconductores compuestos (GaAs, Ga, InP, etc.). Como semiconductor de banda prohibida ancha, el carburo de silicio se caracteriza por su gran ancho de banda prohibida, alta rigidez dieléctrica, alta conductividad térmica, alta velocidad de deriva de saturación de portadores, baja constante dieléctrica, alta resistencia a la radiación y buena estabilidad química. Se puede utilizar para fabricar diversos dispositivos de alta frecuencia y alta potencia con alta resistencia a la temperatura, y resulta útil en aplicaciones donde los dispositivos de silicio no son adecuados, o para lograr efectos que son difíciles de obtener en aplicaciones generales.

Aplicación principal: se utiliza para el corte de alambre de silicio monocristalino de 3 a 12 pulgadas, silicio policristalino, arseniuro de potasio, cristal de cuarzo, etc. Materiales de procesamiento de ingeniería para la industria solar fotovoltaica, la industria de semiconductores y la industria de cristales piezoeléctricos.Utilizado ensemiconductorpararrayos, elemento de circuito, aplicación de alta temperatura, detector ultravioleta, material estructural, astronomía, freno de disco, embrague, filtro de partículas diésel, pirómetro de filamento, película cerámica, herramienta de corte, elemento calefactor, combustible nuclear, joyería, acero, equipo de protección, soporte de catalizador y otros campos


Fecha de publicación: 17 de febrero de 2022
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