Revestimento de carboneto de silício Revestimento de SiC revestido de substrato de grafite para semicondutores

O SiC possui excelentes propriedades físicas e químicas, como alto ponto de fusão, alta dureza, resistência à corrosão e à oxidação. Especialmente na faixa de 1800-2000 ℃, o SiC apresenta boa resistência à ablação. Portanto, possui amplas perspectivas de aplicação na indústria aeroespacial, equipamentos de armas e outros campos. No entanto, o SiC em si não pode ser usado comouma estruturamaterial,portanto, o método de revestimento é geralmente usado para aproveitar sua resistência ao desgaste e à ablaçãoce.

93Aquecedor de substrato MOCVD, elementos de aquecimento para MOCVD1

Carboneto de silícioO material semicondutor (SIC) é a terceira geração seO material microcondutor foi desenvolvido após a primeira geração de materiais semicondutores elementares (Si, GE) e a segunda geração de materiais semicondutores compostos (GaAs, gap, InP, etc.). Como um material semicondutor com ampla faixa de banda proibida, o carboneto de silício possui as características de grande largura de banda proibida, alta intensidade de campo de ruptura, alta condutividade térmica, alta velocidade de deriva de saturação da portadora, baixa constante dielétrica, alta resistência à radiação e boa estabilidade química. Pode ser usado para fabricar diversos dispositivos de alta frequência e alta potência com alta resistência à temperatura, podendo ser usado em situações em que dispositivos de silício são incompetentes ou produzem o efeito que dispositivos de silício são difíceis de produzir em aplicações gerais.

Aplicação principal: usado para corte de fios de silício monocristalino de 3 a 12 polegadas, silício policristalino, arsenieto de potássio, cristal de quartzo, etc. Materiais de processamento de engenharia para a indústria solar fotovoltaica, indústria de semicondutores e indústria de cristais piezoelétricos.Usado emsemicondutor, pára-raios, elemento de circuito, aplicação de alta temperatura, detector ultravioleta, material estrutural, astronomia, freio a disco, embreagem, filtro de partículas diesel, pirômetro de filamento, filme cerâmico, ferramenta de corte, elemento de aquecimento, combustível nuclear, joias, aço, equipamento de proteção, suporte de catalisador e outros campos


Data de publicação: 17 de fevereiro de 2022
Bate-papo on-line do WhatsApp!