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半導体シリコンウェハー用カスタムグラファイトヒーター
| 技術仕様 | VET-M3 |
| かさ密度（g/cm³） | ≥1.85 |
| 灰分含有量（ppm） | ≤500 |
| ショア硬度 | 45歳以上 |
| 比抵抗（μΩ・m） | ≤12 |
| 曲げ強度（MPa） | 40歳以上 |
| 圧縮強度（MPa） | 70歳以上 |
| 最大粒径（μm） | ≤43 |
| 熱膨張係数（mm/℃） | ≤4.4×10⁻⁶
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