当社の SiC コーティングされたグラファイトサセプターの特別な利点には、非常に高純度、均一なコーティング、優れた耐用年数が含まれます。また、高い耐薬品性と熱安定性も備えています。
半導体用途向けのグラファイト基板の SiC コーティングにより、優れた純度と酸化性雰囲気に対する耐性を備えた部品が得られます。
CVD SiC または CVI SiC は、単純または複雑な設計部品のグラファイトに適用されます。コーティングはさまざまな厚さで、非常に大きな部品に適用できます。
特徴：
・優れた耐熱衝撃性
・優れた耐物理衝撃性
・優れた耐薬品性
・超高純度
· 複雑な形状でも利用可能
・酸化性雰囲気下でも使用可能
応用：
ベースグラファイト材料の典型的な特性:
| 見掛け密度: | 1.85g/cm3 |
| 電気抵抗率： | 11μΩm |
| 曲げ強度: | 49MPa(500kgf/cm2) |
| ショア硬度: | 58 |
| 灰： | <5ppm |
| 熱伝導率： | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
カーボンは、現在のすべてのエピタキシー リアクターのサセプターとグラファイト コンポーネントに供給されます。当社のポートフォリオには、応用ユニットおよび LPE ユニット用のバレル サセプタ、LPE、CSD、および Gemini ユニット用のパンケーキ サセプタ、応用ユニットおよび ASM ユニット用の枚葉式サセプタが含まれます。主要な OEM との強力なパートナーシップ、材料の専門知識、製造ノウハウを組み合わせることで、SGL はアプリケーションに最適な設計を提供します。
