VET Energy SiC コーティングされたサセプタ半導体製造の厳しい要求を満たす、長寿命かつ安定した信頼性と性能を実現するために、細部までこだわって設計された高性能ソリューションです。優れた耐熱性、優れた熱均一性、そして高純度を特徴とする本製品は、MOCVDウェーハキャリアをはじめ、安定性と精度が求められるウェーハ処理アプリケーションに最適です。優れた耐浸食性により、耐久性と耐薬品性が不可欠な環境に最適な選択肢となります。
私たちのSiCコーティンググラファイトサセプター半導体製造プロセスにおいて重要な部品であるSiCコーティングサセプターは、VET Energy独自の特許技術を活用し、極めて高い純度、優れたコーティング均一性、そして卓越した熱安定性を実現しています。このコーティングにより、グラファイト基板は高い耐薬品性と大幅な耐用年数の向上を実現します。VET Energyの品質へのこだわりは、グラファイトウェーハキャリア市場の進化するニーズを満たすSiCコーティングサセプターの開発に繋がり、半導体製造プロセスで使用されるSiCコーティンググラファイトサセプターの高い基準を確立しました。MOCVDプロセス.
SiCコーティングサセプターの主な特徴：
1. 高温酸化耐性：最高 1700℃ の温度に耐えられるため、過酷な処理条件にも適しています。
2. 高純度と熱均一性：一貫した結果を保証することは、MOCVDサセプターおよびその他の精密アプリケーション。
3. 優れた耐腐食性：酸、アルカリ、塩、各種有機試薬に対して耐性があります。
4. 表面硬度の向上：微粒子を配合した緻密な表面により、耐久性と寿命がさらに向上します。
5. 長寿命化：持続的なパフォーマンスを実現するように設計されており、過酷な処理環境でも標準的なシリコンカーバイドコーティングサセプターよりも優れた性能を発揮します。
VET Energyは、大手メーカーとして、カスタマイズされたグラファイトとシリコンカーバイド製品さまざまなコーティングオプション、SiCコーティング, TaCコーティング, ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなど、半導体および太陽光発電業界のニーズに応えるシリコンカーバイドコーティンググラファイトサセプターを誇りを持って提供しています。
国内トップクラスの研究機関での経験を持つ当社の技術チームは、進化するニーズに応える材料ソリューションの開発に尽力しています。SiCコーティンググラファイトサセプターVET Energyは、特許取得済みのプロセスを通じて、シリコンカーバイドコーティングと基材間の接着強度を大幅に向上させ、剥離のリスクを低減し、長期的な信頼性を高める独自の技術を開発しました。
半導体プロセスにおける応用と利点
そのMOCVD用SiCコーティング有効にするグラファイトサセプター高温・腐食環境下でも部品の完全性を維持することは、精密半導体製造に不可欠です。これらのSiCコーティンググラファイト部品は、特に炭化ケイ素コーティングサセプターを必要とするプロセスで高く評価されています。グラファイトウェーハキャリア高い熱安定性、純度、化学的侵食に対する耐性が求められます。
VET Energyは、高度なシリコンカーバイドコーティング技術を活用し、カスタマイズされた高性能のグラファイトウェーハキャリア市場を継続的にサポートしています。SiCコーティンググラファイトサセプターMOCVDプロセスから半導体分野の高純度アプリケーションまで、業界特有の課題に対処します。
弊社の工場へのご訪問を心より歓迎いたします。ぜひ、さらなる話し合いをさせてください。
