半導体用炭化ケイ素コーティングを施したグラファイト基板/キャリア

簡単な説明:

VET Energy社のSiCコーティンググラファイトサセプターは、長期間にわたり安定した信頼性の高い性能を発揮するように設計された高性能製品です。優れた耐熱性と熱均一性、高純度、耐侵食性を備えており、ウェーハ処理用途に最適なソリューションです。

 


  • 原産地:浙江省、中国 (本土)
  • 型番:ボート3004
  • 化学組成:SiCコーティングされたグラファイト
  • 曲げ強度:470MPa
  • 熱伝導率:300 W/mK
  • 品質:完璧
  • 関数:CVD-SiC
  • 応用:半導体/太陽光発電
  • 密度:3.21 g/cc
  • 熱膨張:4 10-6/K
  • 灰: 5ppm未満
  • サンプル:利用可能
  • HSコード:6903100000
  • 製品詳細

    商品タグ

    SiCコーティングされたグラファイトサセプターは、様々な半導体製造プロセスで使用される重要な構成要素です。当社は特許技術を用いて、極めて高い純度、優れたコーティング均一性、長寿命、そして高い耐薬品性と耐熱性を備えたサセプターを製造しています。

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    当社製品の特徴:

    1. 1700℃までの高温酸化耐性。
    2. 高純度と熱均一性
    3. 優れた耐食性:酸、アルカリ、塩、有機試薬。

    4. 高硬度、緻密な表面、微細粒子。
    5. より長い耐用年数とより耐久性

    CVD SiC膜の基本物理性能

    CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング

    性质 / 財産

    典型的な数値 標準値

    結晶構造 結晶構造

    FCC β相多結晶、主に(111)取向

    密度 / 密度

    3.21 g/cm³

    硬度 硬度

    2500维度硬度(500g荷重)

    結晶粒大小 / 粒の大きさ

    2~10μm

    化学的純度

    99.99995%

    熱容 熱容量

    640 J・kg-1・K-1

    昇华温度 昇華温度

    2700℃

    抗强度 曲げ強度

    415 MPa RT 4点

    杨氏模量 ヤング率

    430 GPa 4点曲げ、1300℃

    导熱系数 / テルマl導電率

    300W・m-1・K-1

    熱膨張胀系数 熱膨張係数(CTE)

    4.5×10-6K-1

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    2

    VET Energyは、SiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなど、さまざまなコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の真のメーカーであり、半導体および太陽光発電業界向けにさまざまなカスタマイズ部品を提供できます。

    当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。

    当社は、より高度な材料を提供するために、常に先進的なプロセスを開発しており、コーティングと基材との結合をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。

    ぜひ当社の工場にお越しください。さらに詳しく話し合いましょう!

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