石英ウェハーボート半導体製造、太陽電池製造、先端材料の研究開発における重要な搬送ツールであり、高温プロセスにおける安定したウェーハ搬送と位置決めのために設計されています。この製品は超高純度溶融石英（SiO2）でできており、優れた耐熱性、化学的安定性、超低金属汚染特性を備え、拡散炉、酸化炉、PECVD/LPCVDなどの装置に適しており、ウェーハコーティング、イオン注入、高温アニーリングなどのコアプロセスで幅広く使用されています。
VET Energy社のクォーツボートの主な利点：
- 超高純度材料
純度99.99%以上：不純物含有量（Na、K、Feなど）が5ppm未満で、ウェハーの汚染を防ぎ、チップの歩留まりを保証します。
低沈殿・低吸着：表面は超研磨（Ra≤0.4μm）されており、粒子付着やガス残留物を低減します。 - 高温安定性
温度限界：長期使用温度1100℃、短期ピーク温度1300℃、変形なし、結晶析出なし。
熱膨張係数が低く（5.5×10⁻⁷/℃）、優れた耐熱衝撃性を持ち、急速な温度上昇・下降プロセス（例：RTP急速アニーリング）に対応可能です。 - 精密な構造設計
スロット精度±0.1mm：2インチから12インチのウェーハに対応し、間隔均一性誤差は0.05mm未満で、ウェーハにオフセットがないことを保証します。
高い積載能力：1つのボートに最大50枚のウェーハ（12インチウェーハ換算）を積載でき、薄型ウェーハ（100μm以上）の安定した搬送をサポートします。 - 化学的不活性
耐腐食性：酸（HFを除く）、アルカリ、有機溶剤による腐食に耐性があり、CMP洗浄プロセスに対応しています。
優れた気密性：漏洩率＜5×10⁻¹⁰ Pa・m³/sで、真空および防護ガス環境に適しています。 - 長寿命とメンテナンス性
耐用年数は5000サイクル以上（通常の使用条件下）で、表面は繰り返し洗浄して使用できるため、全体的なコストを削減できます。
モジュール設計：部分的な交換（例：ボートの歯1本）に対応し、ダウンタイムを削減します。
お客様のご要望に応じて、透明表面と曇りガラス表面の両方をご提供いたします。
寧波VETエネルギーテクノロジー株式会社は、ハイエンド先端材料の製造・販売に特化したハイテク企業です。グラファイト、炭化ケイ素、セラミックス、SiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどの表面処理を含む材料と技術を取り扱っており、これらの製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などの分野で幅広く使用されています。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、製品の性能と品質を保証するための複数の特許技術を開発しています。また、お客様に専門的な材料ソリューションを提供することも可能です。
