応用
グラファイトボートは、高温拡散プロセスにおけるウェハホルダーとして広く使用されている。
機能要件
| 1 | 高温強度 |
| 2 | 高温での化学的安定性 |
| 3 | 粒子問題なし |
説明
1. 「カラーレンズ」技術を排除し、長期プロセス中に「カラーレンズ」が発生しないようにすることを採用しました。
2. 高純度、低不純物含有量、高強度のSGL社製輸入黒鉛素材を使用しています。
3. 耐腐食性と耐破裂性に優れた99.9%セラミックをセラミックアセンブリに使用する。
4. 精密加工装置を使用して、各部品の精度を確保する。
VET Energyが他社より優れている理由:
1. 様々な仕様をご用意しており、カスタマイズサービスも提供しています。
2. 高品質かつ迅速な配送。
3. 高温耐性。
4. 高いコストパフォーマンスと競争力
5. 長寿命












