SiC 코팅 흑연 MOCVD 웨이퍼 캐리어, SiC 에피택시용 흑연 서셉터

간단한 설명:

원산지:저장성, 중국 (본토)

모델 번호:보트3004

화학적 구성:SiC 코팅 흑연

굽힘 강도:470Mpa

열전도도:300W/mK

품질:완벽한

기능:CVD-SiC

애플리케이션:반도체/태양광

밀도:3.21g/cc

열팽창:4 10-6/K

금연 건강 증진 협회: <5ppm

견본:사용 가능

HS 코드:6903100000

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제품 상세 정보

제품 태그

SiC 코팅 흑연 MOCVD 웨이퍼 캐리어, SiC 에피택시용 흑연 서셉터,
탄소 공급 수용체, 에피택시 서셉터, 흑연 공급 수용기, 흑연 웨이퍼 서셉터,

CVD-SiC 코팅은 구조가 균일하고, 재료가 치밀하며, 고온 저항성, 산화 저항성, 순도가 높고, 산·알칼리 저항성, 유기 시약에 대한 저항성이 있으며, 물리적, 화학적 특성이 안정적입니다.

고순도 흑연 소재와 비교했을 때 흑연은 400C에서 산화를 시작하는데, 이로 인해 산화로 인한 분말 손실이 발생하고, 주변 장치 및 진공 챔버의 환경 오염을 초래하며, 고순도 환경의 불순물이 증가합니다.

그러나 SiC 코팅은 1600도에서도 물리적, 화학적 안정성을 유지할 수 있어 현대 산업, 특히 반도체 산업에서 널리 사용되고 있습니다.

저희 회사는 CVD(화학기상증착) 방식으로 흑연, 세라믹 및 기타 소재 표면에 SiC 코팅 공정 서비스를 제공합니다. 탄소와 규소를 함유한 특수 가스가 고온에서 반응하여 고순도 SiC 분자를 생성하고, 이 분자들이 코팅 소재 표면에 증착되어 SIC 보호층을 형성합니다. 형성된 SIC는 흑연 기판에 단단히 결합되어 흑연 기판에 특수한 특성을 부여하여 흑연 표면을 치밀하고 다공성이 없으며 고온 내성, 내식성 및 내산화성을 유지합니다.

주요 특징:

1. 고온 산화 저항성:

온도가 1700C로 높아져도 산화 저항성은 여전히 매우 좋습니다.

2. 고순도: 고온 염소화 조건에서 화학 기상 증착으로 제조됨.

3. 내식성: 경도가 높고, 표면이 치밀하며, 입자가 미세합니다.

4. 내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약.

CVD-SIC 코팅의 주요 사양: