Keramisk skivvärmare AlN aluminiumoxid värmeelement

Keramisk skivvärmare AlN aluminiumoxid värmeelement
Vid halvledartillverkning behöver wafers bearbetas i olika processer, såsom tunnfilmsdeponering, etsning etc. I dessa länkar behöver wafers värmas upp till en viss temperatur, och det finns strikta krav på temperaturen, eftersom temperaturjämnheten har en mycket viktig inverkan på produktutbytet, och värmekomponenter är oumbärliga.

Keramisk värmareappliceras direkt på processkammaren och är i direkt kontakt med wafern. De bär inte bara wafern, utan säkerställer också att wafern får en stabil och jämn processtemperatur. De är nyckelkomponenter i utrustning för tunnfilmsdeponering av halvledare!

Den keramiska värmaren har en keramisk bas som stöder skivan och en cylindrisk stödkropp på baksidan som stöder den. Förutom motståndselementet (värmeskiktet) för uppvärmning finns det även radiofrekvenselektroder (RF-skikt) inuti eller på ytan av den keramiska basen. För att uppnå snabb uppvärmning och kylning bör tjockleken på den keramiska basen vara tunn, men för tunn kommer också att minska styvheten.

Stödet till den keramiska värmaren är vanligtvis tillverkat av keramiskt material med en värmeutvidgningskoefficient som liknar basens. Värmaren har en unik struktur med en axelkoppling i botten för att skydda terminaler och ledningar från effekterna av plasma och korrosiva kemiska gaser. Stödet är utrustat med ett inlopps- och utloppsrör för värmeöverföringsgas för att säkerställa en jämn temperatur hos värmaren. Basen och stödet är kemiskt bundna med ett bindeskikt.

Keramiska värmare kan tillverkas av keramik som aluminiumnitrid (AlN), kiselnitrid (Si3N4) och aluminiumoxid (Al2O3). Bland dessa är AlN det bästa valet för keramiska värmare. Jämfört med andra material har VET Energys AlN-keramik följande egenskaper:
(1) God värmeledningsförmåga;
(2) Anpassad värmeutvidgningskoefficient till halvledande kiselmaterial;
(3) Goda mekaniska egenskaper, utmärkt slitstyrka och omfattande mekaniska egenskaper är bättre än berylliumoxid och likvärdiga med aluminiumoxid;
(4) Utmärkta heltäckande elektriska egenskaper, utmärkt elektrisk isolering och låg dielektrisk förlust;
(5) Giftfri och miljövänlig.