Avancerad porös keramisk vakuumchuck
Porös keramisk vakuumchuckär en lastbärande plattform som använder principen om vakuumadsorption för att fixera arbetsstycken. Den del av vakuumchucken som överför vakuum är en porös keramisk platta. Den porösa keramiska plattan monteras i basens sänkhål, och dess periferi är limmad och tätad med basen. Basen är tillverkad av precisionskeramik eller metallmaterial. Genom att kombinera en metall- eller keramisk bas med en speciell porös keramik, möjliggör designen av den interna precisionsluftvägen en jämn och stabil vidhäftning av arbetsstycket till vakuumsugkoppen när den utsätts för negativt tryck.
Tack vare de extremt fina porerna i porös keramik kan arbetsstyckets yta fästas mot vakuumsugkoppen utan några negativa faktorer som repor eller bucklor orsakade av undertryck.
Egenskaper hos porös keramisk vakuumchuck:
① Tät och enhetlig struktur: Motstår adsorption av kiselpulver/slipskräp, lätt att rengöra.
② Hög hållfasthet och slitstyrka: Ingen deformation under slipning, minimerar eggflisning/fragmentering.
③ Lång livslängd: Utmärkt formbevarande yta, lång avstrykningscykel med minimal borttagning.
④ Hög isolering: Eliminerar statisk elektricitet.
⑤ Återanvändbar och lätt att behandla: Inga sprickor/flisor vid omytbehandling, flera återanvändningar möjliga.
⑥ Dammfri och stabil: Helt sintrad, ingen partikelutsläpp.
⑦ Lätt: Porös struktur minskar vikten avsevärt.
⑧ Kemisk resistens: Anpassningsbar för korrosiva miljöer via material-/processkontroll.
Keramisk vakuumchuck VS traditionell metallsugkopp:
Keramisk vakuumchuck inom halvledarområdet
Keramiska vakuumchuckar fungerar som kläm- och bärverktyg vid tillverkning av halvledarskivor. De har hög planhet och parallellitet, en tät och enhetlig struktur, hög hållfasthet, god luftgenomsläpplighet, enhetlig adsorptionskraft och enkel bearbetning. Dessa egenskaper gör dem lämpliga för processer inom tillverkning av halvledarskivor, såsom gallring, skivning, slipning, rengöring och hantering. De hanterar effektivt utmaningar som waferprägling, elektrostatisk nedbrytning av chips och partikelkontaminering, vilket uppnår extremt hög bearbetningskvalitet för halvledarskivor i praktiska tillämpningar.
Datablad för keramiska material
| Punkt | 95 % aluminiumoxid | 99 % aluminiumoxid | Zirkoniumoxid | Kiselkarbid | KiselNiriden | AluminiumNiriden |
| Färg | vit | Ljusgul | vit | svart | svart | grå |
| Densitet (g/cm3) | 3,7 g/cm3 | 3,9 g/cm3 | 6,02 g/cm3 | 3,2 g/cm3 | 3,25 g/cm3 | 3,2 g/cm3 |
| Vattenabsorption | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Hårdhet (HV) | 23,7 | 23,7 | 16,5 | 33 | 20 | - |
| Böjhållfasthet (MPa) | 300 MPa | 400 MPa | 1100 MPa | 450 MPa | 800 MPa | 310 MPa |
| Tryckhållfasthet (MPa) | 2500 MPa | 2800 MPa | 3600 MPa | 2000 MPa | 2600 MPa | - |
| Youngs elasticitetsmodul | 300 GPa | 300 GPa | 320 GPa | 450 GPa | 290 GPa | 310~350 GPa |
| Poissons förhållande | 0,23 | 0,23 | 0,25 | 0,14 | 0,24 | 0,24 |
| Värmeledningsförmåga | 20W/m°C | 32 W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Dielektrisk styrka | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm |
| Volymresistivitet (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy är en professionell tillverkare som fokuserar på forskning och utveckling samt produktion av avancerade material som grafit, kiselkarbid och kvarts, samt materialbehandling som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning och pyrolytisk kolbeläggning. Produkterna används ofta inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi etc.
Vårt tekniska team kommer från topprankade inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda dig mer professionella materiallösningar.
VET Energys fördelar inkluderar:
• Egen fabrik och professionellt laboratorium;
• Branschledande renhetsnivåer och kvalitet;
• Konkurrenskraftigt pris och snabb leveranstid;
• Flera branschpartnerskap världen över;
Vi välkomnar dig att besöka vår fabrik och vårt laboratorium när som helst!
