Ярымүткәргечләр сәнәгатендә графит материалларына карата таләпләр аеруча югары, графитның вак кисәкчәләр зурлыгы югары төгәллеккә, югары температурага чыдамлыкка, югары ныклыкка, аз югалтуга һәм башка өстенлекләргә ия, мәсәлән: графит продуктлары формасында агрегатланган.Ярымүткәргечләр сәнәгатендә кулланыла торган графит җиһазлары (шул исәптән җылыткычлар һәм аларның агломерацияләнгән калыплары) кабатланган җылыту һәм суыту процессларына чыдам булырга тиеш булганлыктан, графит җиһазларының хезмәт итү вакытын озайту өчен, гадәттә кулланылган графит материалларының тотрыклы эшләүчәнлеге һәм җылылыкка чыдамлыгы таләп ителә.
01 Ярымүткәргеч кристалл үстерү өчен графит аксессуарлары
Ярымүткәргеч кристаллар үстерү өчен кулланыла торган барлык процесслар да югары температура һәм коррозияле мохиттә эшли. Кристалл үстерү миченең кайнар зонасы гадәттә җылылыкка чыдам һәм коррозиягә чыдам югары сафлыклы графит компонентлары белән җиһазландырылган, мәсәлән, җылыткыч, тигель, изоляция цилиндры, юнәлеш бирүче цилиндр, электрод, тигель тоткасы, электрод гайкасы һ.б.
Без кристалл җитештерү җайланмаларының барлык графит детальләрен дә җитештерә алабыз, аларны аерым яки комплектларда, яки клиент таләпләренә туры китереп төрле зурлыктагы шәхси заказ буенча графит детальләрен җитештерә алабыз. Продукциянең зурлыгын урында үлчәргә мөмкин, ә әзер продукциянең көл күләме азрак булырга мөмкин.5 ppm дан артык.
02 Ярымүткәргеч эпитаксия өчен графит аксессуарлары
Эпитаксиаль процесс дип монокристалл субстраттагы субстрат белән бер үк челтәрле урнашуга ия монокристалл материал катламының үсүен атыйлар. Эпитаксиаль процесста пластина графит дискка йөкләнә. Графит дискының эшләве һәм сыйфаты пластинаның эпитаксиаль катламы сыйфатында мөһим роль уйный. Эпитаксиаль җитештерү өлкәсендә күп күләмдә ультра югары сафлыклы графит һәм SIC каплавы булган югары сафлыклы графит нигезе кирәк.
Безнең компаниянең ярымүткәргеч эпитаксия өчен графит нигезе киң кулланылышка ия, сәнәгатьтә еш кулланыла торган күпчелек җиһазларга туры килә ала, югары сафлыкка, бердәм каплауга, бик яхшы хезмәт итү вакытына, югары химик каршылыкка һәм җылылыкка тотрыклылыкка ия.
03 Ион имплантациясе өчен графит аксессуарлары
Ион имплантациясе бор, фосфор һәм мышьякның плазма нурын билгеле бер энергиягә кадәр тизләтү, аннары аны пластина материалының өслек катламына кертү процессын аңлата, бу өслек катламының материал үзенчәлекләрен үзгәртә. Ион имплантацияләү җайланмасының компонентлары югары чисталыклы, җылылыкка чыдам, җылылык үткәрүчән, ион нуры китереп чыгарган коррозия аз һәм катнашма күләме түбән булган материаллардан ясалырга тиеш. Югары чисталыклы графит куллану таләпләренә туры килә һәм ион имплантацияләү җиһазларының очу трубкасы, төрле ярыклар, электродлар, электрод каплагычлары, үткәргечләр, нур терминаторлары һ.б. өчен кулланылырга мөмкин.
Без төрле ион имплантацияләү машиналары өчен графит экранлау каплагычын гына түгел, ә төрле спецификацияләрдәге югары коррозиягә чыдам югары сыйфатлы графит электродларын һәм ион чыганакларын да тәэмин итә алабыз. Кулланыла торган модельләр: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM һәм башка җиһазлар. Моннан тыш, без шулай ук туры килә торган керамик, вольфрам, молибден, алюминий продуктлары һәм капланган детальләр белән дә тәэмин итә алабыз.
04 Графит изоляция материаллары һәм башкалар
Ярымүткәргечләр җитештерү җиһазларында кулланыла торган җылылык изоляциясе материалларына графит каты киез, йомшак киез, графит фольга, графит кәгазе һәм графит бау керә.
Безнең барлык чимал да - чит илдән китерелгән графит, аны клиент таләпләренә туры китереп кисәргә яки тулысынча сатарга мөмкин.
Углерод-углерод табасы кояш монокристалл кремний һәм поликристалл кремний элементлары җитештерү процессында пленка каплау өчен йөртүче буларак кулланыла. Эш принцибы: кремний чипын CFC табагына урнаштырыгыз һәм пленка каплавын эшкәртү өчен мич торбасына җибәрегез.
