Silikonkarbied-waferboot is 'n lasdraende toestel vir wafers, hoofsaaklik gebruik in son- en halfgeleierdiffusieprosesse. Dit het eienskappe soos slytasieweerstand, korrosiebestandheid, hoëtemperatuur-impakweerstand, weerstand teen plasmabombardement, hoëtemperatuur-dravermoë, hoë termiese geleidingsvermoë, hoë hitte-afvoer, en langtermyn gebruik wat nie maklik is om te buig en te vervorm nie. Ons maatskappy gebruik hoë-suiwerheid silikonkarbiedmateriaal om dienslewe te verseker en bied pasgemaakte ontwerpe, insluitend verskeie vertikale en horisontale waferboots.
Materiaal Datablad
| 材料Materiaal | R-SiC |
| 使用温度Werktemperatuur (°C) | 1600°C (氧化气氛 Oksiderende omgewing)1700°C (还原气氛Verminderende omgewing) |
| SiC含量SiC-inhoud (%) | > 99 |
| 自由Si 含量 Gratis Si-inhoud (%) | < 0.1 |
| 体积密度Bulkdigtheid (g/cm3) | 2.60-2.70 |
| 气孔率Skynbare porositeit (%) | < 16 |
| 抗压强度Breeksterkte (MPa) | > 600 |
| 常温抗弯强度Koue buigsterkte (MPa) | 80-90 (20°C) |
| 高温抗弯强度Warm buigsterkte (MPa) | 90-100 (1400°C) |
| 热膨胀系数 Termiese uitsettingskoëffisiënt @1500°C (10-6/°C) | 4.70 |
| 导热系数Termiese geleidingsvermoë @1200°C (W/m•K) | 23 |
| 杨氏模量Elastiese modulus (GPa) | 240 |
| 抗热震性Termiese skokweerstand | 很好Uiters goed |
Ningbo VET Energie Tegnologie Co., Ltdis 'n hoëtegnologie-onderneming wat fokus op die produksie en verkope van hoë-end gevorderde materiale, die materiale en tegnologieinsluitendgrafiet, silikonkarbied, keramiek, oppervlakbehandeling en so aan. Die produkte word wyd gebruik in fotovoltaïese, halfgeleier, nuwe energie, metallurgie, ens.
Ons tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaaloplossings biedvir jou.
Ons verwelkom u hartlik om ons fabriek te besoek, kom ons gesels verder!
