Лоток для кремниевых пластин — это несущее устройство для пластин, используемое в основном в процессах диффузии солнечных элементов и полупроводников. Он обладает такими характеристиками, как износостойкость, коррозионная стойкость, ударопрочность при высоких температурах, устойчивость к плазменной бомбардировке, высокая термостойкость, высокая теплопроводность, высокое теплоотведение и длительный срок службы, при котором пластины не подвержены изгибу и деформации. Наша компания использует высокочистый карбид кремния для обеспечения длительного срока службы и предлагает индивидуальные решения, включая различные вертикальные и горизонтальные лотки для пластин.
Технический паспорт материала
| 材料Материал | R-SiC |
| 使用温度Рабочая температура (°C) | 1600°C ( 氧化气氛Окислительная среда)1700°C ( 还原气氛Восстановительная среда) |
| SiC и содержание SiC (%) | > 99 |
| 自由Si 含量Содержание свободного Si (%) | < 0,1 |
| 体积密度Насыпная плотность (г/см³) | 2.60-2.70 |
| 气孔率Кажущаяся пористость (%) | < 16 |
| 抗压强度Прочность на сжатие (МПа) | > 600 |
| 常温抗弯强度Прочность на изгиб в холодном состоянии (МПа) | 80-90 (20°C) |
| 高温抗弯强度Предел прочности при горячем изгибе (МПа) | 90-100 (1400°C) |
| Коэффициент теплового расширения при 1500°C (10-6/°C) | 4.70 |
| 导热系数Теплопроводность при 1200 °C (Вт/м•К) | 23 |
| 杨氏模量Модуль упругости (ГПа) | 240 |
| 抗热震性Устойчивость к термическому шоку | 很好Очень хорошо |
Ningbo VET Energy Technology Co., LtdЭто высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на производстве и продаже высококачественных современных материалов, материалов и технологий.включаяГрафит, карбид кремния, керамика, обработка поверхностей и так далее. Продукция широко используется в фотовольтаике, полупроводниковой промышленности, возобновляемой энергетике, металлургии и т.д.
Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, что позволяет нам предлагать более профессиональные решения в области материалов.для тебя.
Мы будем рады видеть вас на нашем заводе, давайте обсудим все подробности!
-
Фокусирующее кольцо из CVD SiC для травления полупроводников...
-
Направляющее кольцо покрытия TaC
-
Пористый ствол с покрытием из карбида тантала
-
Сверхтонкое покрытие из карбида тантала: улучшает...
-
Высокопрочный стеклоуглеродный тигель для высокотемпературных процессов...
-
Подложка из пластины с покрытием из TaC для печи MOCVD



