Unha barca de obleas de carburo de silicio é un dispositivo de soporte de carga para obleas, que se emprega principalmente en procesos de difusión solar e de semicondutores. Ten características como resistencia ao desgaste, resistencia á corrosión, resistencia ao impacto a altas temperaturas, resistencia ao bombardeo con plasma, capacidade de soporte a altas temperaturas, alta condutividade térmica, alta disipación de calor e uso a longo prazo, polo que non é doado de dobrar nin deformar. A nosa empresa utiliza material de carburo de silicio de alta pureza para garantir a súa vida útil e ofrece deseños personalizados, incluíndo varias barcas de obleas verticais e horizontais.
Ficha técnica do material
| 材料Material | R-SiC |
| 使用温度Temperatura de traballo (°C) | 1600 °C (氧化气氛ambiente oxidante)1700 °C (还原气氛ambiente redutor) |
| Contido de SiC含量SiC (%) | > 99 |
| 自由Si 含量Contido libre de Si (%) | < 0,1 |
| 体积密度Densidade aparente (g/cm3) | 2,60-2,70 |
| 气孔率Porosidade aparente (%) | < 16 |
| 抗压强度Resistencia ao esmagamento (MPa) | > 600 |
| 常温抗弯强度Resistencia á flexión en frío (MPa) | 80-90 (20 °C) |
| 高温抗弯强度Resistencia á flexión en quente (MPa) | 90-100 (1400 °C) |
| 热膨胀系数Coeficiente de expansión térmica @1500°C (10-6/°C) | 4,70 |
| 导热系数Condutividade térmica a 1200 °C (W/m•K) | 23 |
| 杨氏模量Módulo elástico (GPa) | 240 |
| 抗热震性Resistencia ao choque térmico | 很好Moi bo |
Co. de Tecnoloxía Enerxética VET de Ningbo, Ltd.é unha empresa de alta tecnoloxía centrada na produción e venda de materiais avanzados de alta gama, materiais e tecnoloxíaincluíndografito, carburo de silicio, cerámica, tratamento de superficies, etc. Os produtos úsanse amplamente en fotovoltaica, semicondutores, novas enerxías, metalurxia, etc.
O noso equipo técnico provén de institucións de investigación nacionais de primeira liña e pode ofrecer solucións de materiais máis profesionais.para ti.
Unha calorosa benvida para visitar a nosa fábrica, imos falar máis a fondo!
-
Anel de enfoque CVD SiC para impresora de gravado de semicondutores...
-
Anel guía de revestimento TaC
-
Barril poroso revestido de carburo de tántalo
-
Revestimento ultrafino de carburo de tántalo: mellora a p...
-
Crisol de carbono de vidro de alta resistencia para alta te...
-
Susceptor de obleas revestido de TaC para forno MOCVD



