La barca per wafer in carburo di silicio è un dispositivo portante per wafer, utilizzato principalmente nei processi di diffusione solare e di semiconduttori. Ha caratteristiche come resistenza all'usura, resistenza alla corrosione, resistenza agli urti ad alta temperatura, resistenza al bombardamento di plasma, capacità portante alle alte temperature, elevata conduttività termica, elevata dissipazione del calore e uso a lungo termine che non è facile da piegare e deformare. La nostra azienda utilizza materiale in carburo di silicio di elevata purezza per garantire la durata e fornisce progetti personalizzati, tra cui vari wafer boat verticali e orizzontali.
Scheda materiale
| 材料Materiale | R-SiC |
| 使用温度Temperatura di lavoro (°C) | 1600°C ( 氧化气氛Ambiente ossidante)1700°C ( 还原气氛Ambiente riducente) |
| Contenuto di SiC含量SiC (%) | >99 |
| 自由Si 含量Contenuto Si gratuito (%) | <0,1 |
| 体积密度Densità apparente (g/cm3) | 2,60-2,70 |
| 气孔率Porosità apparente (%) | <16 |
| 抗压强度Resistenza allo schiacciamento (MPa) | >600 |
| 常温抗弯强度Resistenza alla flessione a freddo (MPa) | 80-90 (20°C) |
| 高温抗弯强度Resistenza alla flessione a caldo (MPa) | 90-100 (1400°C) |
| 热膨胀系数Coefficiente di dilatazione termica @1500°C (10-6/°C) | 4,70 |
| 导热系数Conducibilità termica @1200°C (W/m•K) | 23 |
| 杨氏模量Modulo elastico (GPa) | 240 |
| 抗热震性Resistenza agli shock termici | okEstremamente buono |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltdè un'impresa high-tech focalizzata sulla produzione e vendita di materiali avanzati di fascia alta, materiali e tecnologiacompresografite, carburo di silicio, ceramica, trattamento superficiale e così via. I prodotti sono ampiamente utilizzati nel fotovoltaico, nei semiconduttori, nelle nuove energie, nella metallurgia, ecc.
Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e può fornire soluzioni materiali più professionaliper te.
Un caloroso benvenuto a visitare la nostra fabbrica, discutiamo ulteriormente!
-
Produttore di Halfmoon superiori in grafite rivestita in TaC
-
Anello guida rivestimento TaC
-
Anelli a segmenti in grafite con carburo di tantalio Co...
-
Anello rivestito in carburo di tantalio di elevata purezza
-
Crogiolo di vetro e carbonio resistente al calore
-
Parti della seconda metà -Parti dell'attrezzatura epitassiale SiC




