Barco de wafer de carbeto de silício recristalizado de grande porte

Descrição resumida:

O substrato para wafers de carbeto de silício recristalizado da VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.

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Detalhes do produto

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O suporte para wafers de carbeto de silício é um dispositivo de sustentação para wafers, usado principalmente em processos de difusão de semicondutores e células solares. Possui características como resistência ao desgaste, resistência à corrosão, resistência a impactos em altas temperaturas, resistência a bombardeio de plasma, alta capacidade de suportar altas temperaturas, alta condutividade térmica, alta dissipação de calor e longa vida útil, não sendo propenso a curvaturas ou deformações. Nossa empresa utiliza carbeto de silício de alta pureza para garantir a vida útil do produto e oferece projetos personalizados, incluindo diversos suportes para wafers verticais e horizontais.

Ficha técnica do material

材料Material	R-SiC
使用温度Temperatura de trabalho (°C)	1600°C ( 氧化气氛Ambiente oxidante)1700°C ( 还原气氛Ambiente redutor)
Conteúdo de SiC含量SiC (%)	> 99
自由Si 含量Conteúdo gratuito de Si (%)	< 0,1
体积密度Densidade aparente (g/cm3)	2,60-2,70
气孔率Porosidade aparente (%)	< 16
抗压强度resistência à compressão (MPa)	> 600
常温抗弯强度Resistência à flexão a frio (MPa)	80-90 (20°C)
高温抗弯强度Resistência à flexão a quente (MPa)	90-100 (1400°C)
热膨胀系数Coeficiente de expansão térmica @1500°C (10-6/°C)	4,70
导热系数Condutividade térmica a 1200°C (W/m•K)	23
杨氏模量Módulo de elasticidade (GPa)	240
抗热震性Resistência ao choque térmico	很好Extremamente bom

Ningbo VET Energy Technology Co., LtdÉ uma empresa de alta tecnologia focada na produção e venda de materiais avançados de ponta, materiais e tecnologia.incluindografite, carbeto de silício, cerâmica, tratamento de superfície e assim por diante. Os produtos são amplamente utilizados em células fotovoltaicas, semicondutores, energias renováveis, metalurgia, etc.

Nossa equipe técnica é formada por profissionais das principais instituições de pesquisa nacionais, podendo oferecer soluções de materiais mais especializadas.para você.

Será um prazer recebê-lo(a) em nossa fábrica. Vamos conversar mais sobre o assunto!