炭化ケイ素製ウェーハボートは、ウェーハの荷重を支える装置であり、主に太陽電池や半導体の拡散プロセスで使用されます。耐摩耗性、耐腐食性、耐高温衝撃性、耐プラズマ衝撃性、耐高温性、高熱伝導性、高放熱性、そして長期間使用しても曲がりや変形しにくいといった特長を備えています。当社では、高純度炭化ケイ素材料を使用することで長寿命を実現し、様々な垂直型および水平型ウェーハボートを含む、お客様のご要望に応じた設計を提供しています。
材料データシート
| 材質材料 | R-SiC |
| 使用温度動作温度（℃） | 1600℃（氧化ガス酸化環境）1700℃（还原ガス氛還元環境） |
| SiC含有量SiC含有量(%) | 99以上 |
| 自由Si含有量Free Si含有量(%) | < 0.1 |
| 体密度かさ密度（g/cm³） | 2.60～2.70 |
| 通気率見かけの多孔度（％） | 16歳未満 |
| 耐圧強度圧縮強度（MPa） | 600以上 |
| 常温耐弯强度冷間曲げ強度（MPa） | 80～90（20℃） |
| 高温耐性强度高温曲げ強度（MPa） | 90～100（1400℃） |
| 熱膨張係数熱膨張係数 @1500°C (10-6/°C) | 4.70 |
| 导熱系数1200℃における熱伝導率（W/m・K） | 23 |
| 杨氏模量弾性率（GPa） | 240 |
| 耐熱震性耐熱衝撃性 | 很好非常に良い |
寧波VETエネルギー技術有限公司ハイエンド先端材料、材料、技術の製造・販売に注力するハイテク企業です。含むグラファイト、炭化ケイ素、セラミックス、表面処理など。これらの製品は、太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などの分野で幅広く使用されています。
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