Kwarts Wafer Bootis 'n sleuteldraerinstrument in halfgeleiervervaardiging, fotovoltaïese selproduksie en gevorderde materiaalnavorsing en -ontwikkeling, ontwerp vir stabiele waferoordrag en -posisionering in hoëtemperatuurprosesse. Hierdie produk is gemaak van ultra-hoë suiwerheid gesmelte silika (SiO2), met uitstekende temperatuurweerstand, chemiese stabiliteit en ultra-lae metaalbesoedelingseienskappe, geskik vir diffusie-oond, oksidasie-oond, PECVD/LPCVD en ander toerusting, wyd gebruik in waferbedekking, iooninplanting, hoëtemperatuur-uitgloeiing en ander kernprosesse.
Die kernvoordele van VET Energy se kwartsboot:
- Ultra-hoë suiwerheidsmateriaal
Suiwerheid ≥99.99%: Onsuiwerheidsinhoud (Na, K, Fe, ens.) <5 dpm, wat waferkontaminasie vermy en skyfie-opbrengs waarborg.
Lae neerslag en adsorpsie: die oppervlak is supergepoleer (Ra≤0.4μm) om deeltjie-adhesie en gasresidu te verminder. - Hoë temperatuur stabiliteit
Temperatuurlimiet: Langtermyn werktemperatuur van 1100 ℃, korttermyn piek van 1300 ℃, geen vervorming, geen kristal neerslag nie.
Lae termiese uitbreidingskoëffisiënt (5.5x10-7/℃), uitstekende termiese skokweerstand, aanpasbaar by vinnige temperatuurstyging en -daling (bv. RTP-vinnige uitgloeiing). - Presiese strukturele ontwerp
Gleufpresisie ± 0.1 mm: ooreenstemmende 2” tot 12” wafers, spasiëringsuniformiteitsfout < 0.05 mm, wat verseker dat wafers geen verstelling het nie.
Hoë laaikapasiteit: Maksimum laai van 50 wafers (in terme van 12” wafers) in 'n enkele boot, wat stabiele oordrag van dun wafers (≥100um) ondersteun. - Chemiese traagheid
Korrosiebestandheid: Bestand teen suur (behalwe HF), alkali en organiese oplosmiddelkorrosie, versoenbaar met die CMP-skoonmaakproses.
Uitstekende gasdigtheid: Lekkasietempo <5x10-10 Pa.m3/s, geskik vir vakuum- en beskermende gasomgewings. - Lang lewensduur en onderhoudbaarheid
Lewensverwagting ≥ 5000 siklusse (normale werksomstandighede), die oppervlak kan herhaaldelik skoongemaak en gebruik word, wat die totale koste verminder.
Modulêre ontwerp: ondersteun gedeeltelike vervanging (bv. enkele boottand), wat stilstandtyd verminder.
Ons bied beide deursigtige en matte oppervlaktes volgens die kliënt se vereistes:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is 'n hoëtegnologie-onderneming wat fokus op die produksie en verkope van hoë-end gevorderde materiale, die materiale en tegnologie insluitend grafiet, silikonkarbied, keramiek, oppervlakbehandeling soos SiC-bedekking, TaC-bedekking, glasagtige koolstofbedekking, pirolitiese koolstofbedekking, ens., hierdie produkte word wyd gebruik in fotovoltaïese, halfgeleier, nuwe energie, metallurgie, ens..
Ons tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, en het verskeie gepatenteerde tegnologieë ontwikkel om produkprestasie en -gehalte te verseker, en kan ook kliënte van professionele materiaaloplossings voorsien.
