Silisiumkarbid-waferbåter er en lastbærende innretning for wafere, hovedsakelig brukt i sol- og halvlederdiffusjonsprosesser. Den har egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, slagfasthet ved høy temperatur, motstand mot plasmabombardement, høy temperaturbæreevne, høy varmeledningsevne, høy varmespredning og langvarig bruk som ikke er lett å bøye og deformere. Vårt firma bruker silisiumkarbidmateriale med høy renhet for å sikre levetid og tilbyr tilpassede design, inkludert ulike vertikale og horisontale waferbåter.
Materialdatablad
| 材料Materiale | R-SiC |
| 使用温度Arbeidstemperatur (°C) | 1600°C (氧化气氛 Oksiderende miljø)1700°C (还原气氛reduserende miljø) |
| SiC含量SiC-innhold (%) | > 99 |
| 自由Si 含量Gratis Si-innhold (%) | < 0,1 |
| 体积密度Bulktetthet (g/cm3) | 2,60–2,70 |
| 气孔率Tilsynelatende porøsitet (%) | < 16 |
| 抗压强度Knusestyrke (MPa) | > 600 |
| 常温抗弯强度Kald bøyningsstyrke (MPa) | 80–90 (20 °C) |
| 高温抗弯强度Varm bøyningsstyrke (MPa) | 90–100 (1400 °C) |
| 热膨胀系数 Termisk ekspansjonskoeffisient @1500°C (10-6/°C) | 4,70 |
| 导热系数Varmeledningsevne ved 1200 °C (W/m•K) | 23 |
| 杨氏模量Elastisk modul (GPa) | 240 |
| 抗热震性Termisk sjokkmotstand | 很好Ekstremt bra |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd.er en høyteknologisk bedrift som fokuserer på produksjon og salg av avanserte materialer, materialer og teknologiinkludertgrafitt, silisiumkarbid, keramikk, overflatebehandling og så videre. Produktene er mye brukt innen solcellepanel, halvledere, ny energi, metallurgi osv.
Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner, og kan tilby mer profesjonelle materialløsningerfor deg.
Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss snakke videre!
