Le porte-plaquettes en carbure de silicium est un dispositif de support pour plaquettes, principalement utilisé dans les procédés de diffusion solaire et semi-conductrice. Il présente des caractéristiques telles que la résistance à l'usure, à la corrosion, aux chocs à haute température et au bombardement plasma, une capacité de charge à haute température, une conductivité thermique élevée, une dissipation thermique importante et une grande durabilité, sans risque de flexion ni de déformation. Notre entreprise utilise du carbure de silicium de haute pureté pour garantir une longue durée de vie et propose des conceptions sur mesure, notamment différents modèles de porte-plaquettes verticaux et horizontaux.
Fiche technique du matériau
| 材料Matériel | R-SiC |
| 使用温度Température de fonctionnement (°C) | 1600°C ( 氧化气氛Environnement oxydant)1700°C ( 还原气氛Environnement réducteur) |
| Teneur en SiC et SiC (%) | > 99 |
| 自由Si 含量Contenu Si gratuit (%) | < 0,1 |
| 体积密度Masse volumique apparente (g/cm3) | 2,60-2,70 |
| 气孔率Porosité apparente (%) | < 16 |
| 抗压强度Résistance à la compression (MPa) | > 600 |
| 常温抗弯强度Résistance à la flexion à froid (MPa) | 80-90 (20°C) |
| 高温抗弯强度Résistance à la flexion à chaud (MPa) | 90-100 (1400°C) |
| Coefficient de dilatation thermique à 1 500 °C (10-6/°C) | 4,70 |
| 导热系数Conductivité thermique à 1200 °C (W/m•K) | 23 |
| 杨氏模量Module d'élasticité (GPa) | 240 |
| 抗热震性résistance aux chocs thermiques | 很好Extrêmement bon |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltdest une entreprise de haute technologie spécialisée dans la production et la vente de matériaux et de technologies de pointe.y comprisGraphite, carbure de silicium, céramique, traitement de surface, etc. Ces produits sont largement utilisés dans les secteurs du photovoltaïque, des semi-conducteurs, des énergies nouvelles, de la métallurgie, etc.
Notre équipe technique, issue des plus grands instituts de recherche nationaux, est en mesure de fournir des solutions matérielles plus professionnelles.pour toi.
Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, pourrons en discuter plus en détail !
-
Revêtement poreux en carbure de tantale haute performance...
-
SiC CVD solide de haute pureté en vrac avec base en graphite
-
bague revêtue de carbure de tantale à longue durée de vie
-
Bague revêtue de carbure de tantale ultra-dur
-
Suscepteur en graphite revêtu de carbure de silicium pour L...
-
Creuset en graphite revêtu de TaC personnalisé