Sekepe sa wafer sa silicon carbide ke sesebelisoa se jarang mojaro bakeng sa li-wafer, se sebelisoang haholo-holo lits'ebetsong tsa ho hasana ha letsatsi le semiconductor. Se na le litšobotsi tse kang ho hanyetsa ho tsofala, ho hanyetsa ho bola, ho hanyetsa tšusumetso ea mocheso o phahameng, ho hanyetsa ho phatloha ha plasma, bokhoni ba ho jara mocheso o phahameng, ho khanna mocheso o phahameng, ho qhalana ha mocheso o phahameng, le tšebeliso ea nako e telele e seng bonolo ho kobeha le ho senyeha. Khamphani ea rona e sebelisa thepa ea silicon carbide e hloekileng haholo ho netefatsa bophelo ba ts'ebeletso 'me e fana ka meralo e ikhethileng, ho kenyeletsoa le sekepe se fapaneng sa wafer se otlolohileng le se otlolohileng.
Leqephe la Boitsebiso
| 材料Thepa | R-SiC |
| 使用温度Mocheso o sebetsang (°C) | 1600°C ( 氧化气氛Tikoloho ea oxidizing)1700°C ( 还原气氛Tikoloho e fokotsang) |
| Likahare tsa SiC含量SiC (%) | > 99 |
| 自由Si 含量 Free Si content (%) | < 0.1 |
| 体积密度Bongata ba bongata (g/cm3) | 2.60-2.70 |
| 气孔率Ho bonahala eka ho na le masoba a manyane (%) | < 16 |
| 抗压强度Matla a ho silakanya (MPa) | > 600 |
| 常温抗弯强度Matla a ho kobeha a batang (MPa) | 80-90 (20°C) |
| 高温抗弯强度Matla a ho kobeha a chesang (MPa) | 90-100 (1400°C) |
| 热膨胀系数 Coefficient ea katoloso ea mocheso @1500°C (10-6/°C) | 4.70 |
| 导热系数Ho tsamaisa mocheso ka mocheso @1200°C (W/m•K) | 23 |
| 杨氏模量Modulus e tenyetsehang (GPa) | 240 |
| 抗热震性Khanyetso ea ho tšoha ha mocheso | 很好E ntle haholo |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltdke kgwebo ya theknoloji e phahameng e shebaneng le tlhahiso le thekiso ya thepa e tsoetseng pele ya maemo a hodimo, thepa le theknolojiho kenyeletsoagraphite, silicon carbide, letsopa, kalafo ea bokaholimo le tse ling. Lihlahisoa tsena li sebelisoa haholo ho photovoltaic, semiconductor, matla a macha, metallurgy, jj.
Sehlopha sa rona sa botekgeniki se tsoa litsing tse holimo tsa lipatlisiso tsa lehae, se ka fana ka litharollo tse ling tsa lisebelisoa tsa profeshenalemolemong oa hau.
Re u amohela ka mofuthu ho etela fektheri ea rona, ha re buisaneng ka ho eketsehileng!
-
Tantalum carbide e nang le lipeipi tse ngata e sebetsa hantle ...
-
Bongata ba CVD SiC bo Hloekileng bo Phahameng bo nang le Motheo oa Graphite
-
Lesale le koahetsoeng ka tantalum carbide le nang le bophelo bo bolelele
-
Lesale le koahetsoeng ka tantalum carbide le thata haholo
-
Silicon Carbide e koahetsoeng ka Graphite Susceptor bakeng sa L ...
-
Sebōpi sa Graphite se koahetsoeng ka TaC se Ikhethileng



