Wafer boat silikon karbida adalah perangkat penahan beban untuk wafer, terutama digunakan dalam proses difusi surya dan semikonduktor. Wafer boat ini memiliki karakteristik seperti ketahanan aus, ketahanan korosi, ketahanan benturan suhu tinggi, ketahanan terhadap bombardir plasma, kapasitas menahan suhu tinggi, konduktivitas termal tinggi, pembuangan panas tinggi, dan penggunaan jangka panjang yang tidak mudah bengkok dan berubah bentuk. Perusahaan kami menggunakan material silikon karbida dengan kemurnian tinggi untuk memastikan masa pakai dan menyediakan desain yang disesuaikan, termasuk berbagai wafer boat vertikal dan horizontal.
Lembar Data Material
| 材料Bahan | R-SiC |
| 使用温度Suhu kerja (°C) | 1600°C ( 氧化气氛Lingkungan pengoksidasi)1700°C ( 还原气氛Lingkungan pereduksi) |
| SiC含量Konten SiC (%) | > 99 |
| ituSi 含量Konten Si gratis (%) | < 0,1 |
| 体积密度Kepadatan curah (g/cm3) | 2.60-2.70 |
| 气孔率Porositas tampak (%) | < 16 |
| 抗压强度Kekuatan tekan (MPa) | > 600 |
| 常温抗弯强度Kekuatan lentur dingin (MPa) | 80-90 (20°C) |
| 高温抗弯强度Kekuatan lentur panas (MPa) | 90-100 (1400°C) |
| Koefisien muai panas @1500°C (10-6/°C) | 4,70 |
| 导热系数Konduktivitas termal @1200°C (W/m•K) | 23 |
| 杨氏模量Modulus elastis (GPa) | 240 |
| 抗热震性Ketahanan terhadap guncangan termal | 很好Sangat bagus |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltdadalah perusahaan teknologi tinggi yang berfokus pada produksi dan penjualan material canggih kelas atas, serta material dan teknologi.termasukGrafit, silikon karbida, keramik, perawatan permukaan, dan sebagainya. Produk-produk tersebut banyak digunakan dalam bidang fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dan lain-lain.
Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian terkemuka di dalam negeri, dan dapat memberikan solusi material yang lebih profesional.untukmu.
Kami dengan senang hati mengundang Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari kita berdiskusi lebih lanjut!
