Kiselkarbid-waferbåtar är en lastbärande anordning för wafers, huvudsakligen används i sol- och halvledardiffusionsprocesser. Den har egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, högtemperaturslagtålighet, motståndskraft mot plasmabombardemang, hög temperaturbärande kapacitet, hög värmeledningsförmåga, hög värmeavledning och långvarig användning som inte är lätt att böja och deformera. Vårt företag använder högrent kiselkarbidmaterial för att säkerställa livslängd och erbjuder anpassade designer, inklusive olika vertikala och horisontella waferbåtar.
Materialdatablad
| 材料Material | R-SiC |
| 使用温度Arbetstemperatur (°C) | 1600°C (氧化气氛Oxiderande miljö)1700°C (还原气氛Reducerande miljö) |
| SiC含量SiC-innehåll (%) | > 99 |
| 自由Si 含量Fri Si-innehåll (%) | < 0,1 |
| 体积密度Skrymdensitet (g/cm3) | 2,60–2,70 |
| 气孔率Skenbar porositet (%) | < 16 |
| 抗压强度Krosshållfasthet (MPa) | > 600 |
| 常温抗弯强度Kall böjhållfasthet (MPa) | 80–90 (20°C) |
| 高温抗弯强度Varm böjhållfasthet (MPa) | 90-100 (1400°C) |
| 热膨胀系数 Termisk expansionskoefficient @1500°C (10-6/°C) | 4,70 |
| 导热系数Värmeledningsförmåga vid 1200°C (W/m•K) | 23 |
| 杨氏模量Elasticitetsmodul (GPa) | 240 |
| 抗热震性Termisk chockbeständighet | 很好Extremt bra |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd.är ett högteknologiskt företag som fokuserar på produktion och försäljning av avancerade material, material och teknologiinklusivegrafit, kiselkarbid, keramik, ytbehandling och så vidare. Produkterna används ofta inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi etc.
Vårt tekniska team kommer från topprankade inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda mer professionella materiallösningarför dig.
Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera det vidare!
