Brusná deska s povlakem SIC se vyznačuje vysokou teplotní odolností, odolností proti oxidaci, vysokou čistotou, působením kyselin, zásad, solí a organických činidel a stabilními fyzikálními a chemickými vlastnostmi. Ve srovnání s vysoce čistým grafitem začíná vysoce čistý grafit při 400 °C intenzivně oxidovat. I při nízké teplotě dochází při dlouhodobém používání k oxidaci a oxidaci prášku v závislosti na obrobku a stole nebo znečištění prostředí. Proto se grafitová deska s povlakem SIC jako nové zařízení MOCVD postupně nahrazuje vysoce čistým grafitem.
Hlavní vlastnosti:
1. Vysokoteplotní antioxidant: antioxidant, antioxidační funkce je stále velmi dobrá, i když teplota dosáhne 1600 ℃;
2. Vysoká čistota: získána metodou chemického nanášení z plynné fáze za podmínek chlorace při vysoké teplotě;
3. Odolnost proti erozi: vysoká tvrdost, hustý povrch, jemné částice;
Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům;
5. Povrchová vrstva SIC je β-karbid křemíku, plošně centrovaný kubický materiál.
Čas zveřejnění: 20. února 2023